Шта је Нотцх он Ваферс?

Силицијумске плочицесу основа интегрисаних кола и полупроводничких уређаја. Имају занимљиву особину - равне ивице или ситне жлебове на бочним странама. То није дефект, већ намерно дизајниран функционални маркер.У ствари, овај зарез служи као референца и маркер идентитета током целог производног процеса.

У раним данима, облатне су углавном користиле „равно“ као маркер, што је значило кратак раван сегмент на кружној ивици. Положај и број ових станова коришћени су за разликовање кристалних оријентација и типова допинга. Како се величина плочице повећала и прецизност процеса побољшала, главне плочице од 200 мм и 300 мм су се у великој мери стандардизовале на малом дизајну зареза у облику лука. Положај овог зареза је дефинисан стандардима и налази се на фиксној оријентацији, који се користи да укаже на кристалну оријентацију плочице (на пример <100> или <111>) и да обезбеди заједничку референтну тачку за следећу опрему.

Која је функција зареза у плочици? 

• Прво, пружа референцу за поравнање плочице. Кључни кораци као што су литографија, гравирање и јонска имплантација захтевају слагање више слојева узорка. Ако координатни систем сваког слоја није конзистентан, коначни уређаји ће бити погрешно поравнати и одбачени. Откривањем положаја зареза, опрема може брзо успоставити јединствени координатни систем, а затим користити ознаке за поравнање да би се постигло прецизно преклапање.
• Друго, кодира информације о плочицама. Различите оријентације кристала и различити типови допинга (као што су П-тип и Н-тип) имају различита својства материјала и разматрања дизајна. Оријентација уреза, у комбинацији са ознакама на задњој страни и другим средствима, омогућава производној линији да брзо идентификује плочице током аутоматизованог руковања и сортирања, избегавајући мешање између различитих типова производа.
• Треће, обезбеђује сигурност при аутоматизованом руковању. Модерне фабрике у великој мери користе роботске руке и аутоматизоване системе за руковање материјалом (АМХС). Ови системи се ослањају на зарез за одређивање предње/задње стране и оријентације плочице, спречавајући погрешно пуњење или превртање које би иначе довело до губитка приноса.

За инжењере уређаја и процеса, зарез на плочици може изгледати безначајно, али пролази кроз цео процесни ланац од извлачења кристала, епитаксије и производње плочице па све до тестирања претходног паковања. Кад год је реч о „смеру“ – оријентација кристала, поравнање распореда, оријентација напрезања или чак дизајн структуре одређених енергетских уређаја – овај мали геометријски маркер је скоро увек у позадини. Када схватите улогу зареза, постаје много лакше пратити како се плочица „креће“ кроз производну линију и како сваки корак процеса гради свој координатни систем око овог комада силицијума.