СиЦ премаз полумесечних графитних делова

У реакционој комори СИЦ-ове пећи на епитаксијама СИЦ премаз Полупне графитске делове су кључне компоненте за оптимизацију дистрибуције протока гаса, контроле топлотне теренске теренске и реакције уједначеност атмосфере. Обично су направљени од сичког премазаграфит, дизајниран у облику полумесеца, смештен у горњем и доњем графитном делу реакционе коморе, који окружује подручје супстрата.

    •Горњи полумесечни графитни део: Инсталирано у горњи део реакције Реацхт Дома, у близини улаза гаса, одговоран је за вођење реакционог гаса како би се прошао према површини подлоге.

    •Доњи полумесечни графитни део: налази се на дну реакционе коморе, обично испод држача супстрата, користи се за контролу правца струјања гаса и оптимизацију топлотног поља и дистрибуције гаса на дну супстрата.

ТокомПроцес епитаксије СиЦ, Горњи полу-моон-графитни део помаже у вођињу тока гаса да се равномерно дистрибуира на подлогу, спречавајући да гас директно утиче на површину подлоге и изазове локалне турбуленције за прегревање или проток ваздуха. Доњи полу-моонски графитни део омогућава да се гас несметано прориси кроз подлогу, а затим се отпушта, а затим спречава турбуленцију да утиче на униформу раста епитаксијалног слоја.

У погледу регулације топлотног теренског поља, СИЦ премаз полумоон графитни делови помажу да се равномерно дистрибуира топлота у реакционом комори кроз облик и положај. Горњи полумоон графитни део може ефикасно одражавати зрачење грејача да би се осигурала температура изнад супстрата стабилна. Доњи полу-моон-графитни део такође има сличну улогу, помажући да се равномерно дистрибуира топлота испод подлоге кроз топлотну проводљивост да спречи прекомерне разлике температуре.

Сички премаз чини компоненте отпорне на високе температуре и термички проводљиве, па полумоонски делови за полумондуцтор Ветека имају дуг радни век. Пажљиво дизајнирани, наши делови од полу-моона графитске делове за сицску епитакку могу бити неприметно интегрисани у многе епитаксијалне реакторе, помажући побољшању укупне ефикасности и поузданости поступка производње полуводича. Без обзира на ваше потребе вашег СИЦ-а наклони графитске делове, молимо контактирајте Ветек полуводиче.

ВатерсемиПродавнице делова полумесеца са графитним премазом СиЦ: