СИЦ обложени е-Цхуцк

Како Галлиум Нитрид (ГАН) постаје основни материјал полуводичког материјала треће генерације, њене примене у високом фреквенцијском, високошколском и оптоелектроничком пољима и даље се шире, као што су 5Г базне станице, модуле напајања и ЛЕД уређаја. Међутим, у производњи полуводича, посебно у процесу јеткања, вафли морају бити подвргнути високим температурама, високо хемијскорокорошком окружењу и изузетно високим захтевима прецизности, који су изнели изузетно високе техничке стандарде за алати за месење.

СИЦ керамичке палете Ветек Семицондуцтор дизајниране су за ГАН ВЕФЕР ЕТЦХИНГ и нуде високу чистоћу, одличну топлоту и хемијску отпорност на подршку вашем производном процесу. Погодан је за процес за етомирање плазме (ИЦП / РИЕ) и идеалан је избор у модерној опреми за производњу полуводича.

Основне снаге

1. Високо чистоће Сички керамички материјал

Хемијска стабилност: Чистоћа материјала је већа од 99,5%, а нема загађења Ган Вафру.

Висока тврдоћа и отпорност на хабање: Тврдоћа близу дијаманта, у стању да издржи високу употребу, невидљиве промене и огреботине.

2 Одличне термичке перформансе

Висока топлотна проводљивост, коефицијент ган-мечака топлотног експанзије (ЦТЕ): Смањите ризик од пуцања решетка у процесу јеткања.

3. Супер хемијска отпорност на корозију

Може дуго радити у високој концентрацији флуорида, хлорида и другог окружења за корозивно гасово на то време.

4. Прецизни дизајн и обрада

Површинска храпавост и равност осигуравају глатко постављање вафла и уништити униформност како би се задовољиле захтеве високих прецизних процеса.

Димензије, жљебови, фиксне рупе и друге структуре могу се прилагодити захтевима купаца.

Поље СИЦ обложене апликације Е-Цхуцк

● ЕТЦХИНГ плазме (ИЦП / РИЕ)

Омогућава фиксацију и подршку од важења у високој температури и високо хемијско корозивно окружење, погодно за структор гађања ГАН, СИЦ и других материјала.

● Пренос и складиштење

Обезбедите високо равну и платформу без загађења да би се заштитила сигурност вафла у процесу производње.

Прилагођене услуге

Семицондуцтор ВетекД нуди прилагођене услуге како би задовољили ваше специфичне потребе за процесу:

● Прилагођавање величине: Величина палете се може прилагодити величини од вафера (Ø4 ~ 12 инча).

● Оптимизација структуре: Подршка утора, рупа за позиционирање, фиксна тачка и друга конструкција структуре.

То полуводичСИЦ обложени Е-Цхуцк Продуцтс Трговине: