Употреба чврстог силицијумског карбида

Чврсти силицијум карбид СИЦ је напредни керамички материјал састављен од силицијума (СИ) и угљеника (Ц). То није супстанца која је широко пронађена у природи и обично захтева синтезу високе температуре. Његова јединствена комбинација физичких и хемијских својстава чини га кључним материјалом који добро делује у екстремним окружењима, посебно у производњи полуводича.

Ⅰ. Кључна физичка својства чврстог силицијум карбида (чврсти сиц)

▶ Висока тврдоћа и отпорност на хабање:

Сиц има тврдоћу мо®с од око 9-9,5, други само дијамантском језику. Ово јој даје одлично огреботине и отпорност на хабање и добро се сналази у окружењима која треба да издржи механички стрес или ерозију честица.

▶ Одлична чврстоћа и стабилност високог температуре

1. СИЦ може да одржава своју механичку чврстоћу и структурни интегритет на изузетно високим температурама (раде на температурама до 1600 ° Ц или чак и више, у зависности од врсте и чистоће).

2 Његов низак коефицијент топлотне експанзије значи да има добру димензионисану стабилност и није склони деформацији или пуцању када се температура драстично мења.

▶ Висока топлотна проводљивост:

За разлику од многих других керамичких материјала, СИЦ има релативно високу топлотну проводљивост. То омогућава да се понаша и ефикасно не расипа топлоту, што је критично за апликације које захтевају прецизну контролу температуре и уједначеност.

Врхунска хемијска инертност и отпорност на корозију:

Сиц показује изузетно снажну отпорност на најјача киселине, снажне базе и корозивне гасове који се обично користе у поступцима полуводича (као што су гасови на бази флуор и хлора у плазмима у плазмима), чак и на високим температурама. Ово је пресудно за спречавање компоненти процеса комора да се кородирају или контаминирају.

▶ Потенцијал велике чистоће:

Изузетно висока чистоћа СИЦ премази или чврсти сушти се могу произвести специфичним производним процесима (као што су таложење хемијских паре - ЦВД). У производњи полуводича, материјална чистоћа директно утиче на ниво контаминације резина и приноса коначног производа.

▶ Висока крутост (Иоунг'с Модул):

Сиц има модул високог младог младића, што значи да је веома тешко и није лако деформисати под оптерећењем. Ово је веома важно за компоненте које је потребно да одржи прецизни облик и величину (као што су носачи од лима).

▶ Тунибле Електрична својства:

Иако се често користи као изолатор или полуводич (у зависности од његовог кристалног облика и допинга), његова висока отпорност помаже у управљању понашањем у плазми или спречавају непотребно пражњење лука у неким компонентним апликацијама.

Ⅱ. Специфичне примене и предности чврстог силицидног карбида (чврсте сиц) готове производе у производњи полуводича

На основу горњих физичких својстава, чврсти СИЦ се производи у различите прецизне компоненте и широко се користи у више кључних веза за предњих процеса полуводичких пролазних процеса.

1) Царриер од чврстог сира (чврсти ситски носач / брод):

Примена:

Користи се за ношење и пренос силиконских вафера у процесима високих температура (као што су дифузија, оксидација, ЛПЦВД - таложење хемијских паре ниског притиска).

Анализа предности:

1. Стабилност високе температуре: на температурама процеса прелазећи 1000 ° Ц, суштини се не уклањају, деформишу или не пропадају што је лако као кварц и може тачно да одржи размак од рефлектора да би се осигурало уједначеност у процесу.

2 Дуг живот и стварање ниске честица: СИЦ-ова тврдоћа и отпорност на хабање далеко превазилазе кварц, и није лако произвести сићушне честице за контаминирање вафла. Његов радни век обично је неколико пута или чак десетине пута од кварцних носача, смањење трошкова замјене и трошкова одржавања.

3. Хемијска инертност: Може одупријети хемијској ерозији у атмосфери процеса и смањити контаминацију вафла изазване оборинама властитих материјала.

4. Термичка проводљивост: Добра топлотна проводљивост помаже у постизању брзе и једнолично гријање и хлађење носача и вафла, побољшање ефикасности процеса и уједначеност температуре.

5. Висока чистоћа: Високоелисти СИЦ носачи се могу произвести да задовоље строге захтеве напредних чворова због контроле нечистоће.

Корисничка вредност:

Побољшати стабилност процеса, повећати принос производа, смањити време застоја изазваног квара или контаминацијом компоненти и смањити укупне трошкове власништва дугорочно.

2) Чврста глава у облику слова СИЦ-а / гаса:

Примена:

Инсталирано на врху реакције коморе опреме као што су јеткање плазме, хемијски таложење паре (ЦВД), депоновање атомског слоја (АЛТ) итд., Одговоран за равномерно дистрибуцију процеса доње површине резина у наставку.

АДВАНЦЕРА АНАЛИЗА:

1. Толеранција у плазми: У високој енергетици, хемијски активној области у плазми, глава за туширање се показује изузетно снажна отпорност на бомбардовање у плазми и хемијској корозији, што је далеко супериорно у кварцу или глинини.

2 Уједначеност и стабилност: Прецизна глава за туширање за прецизно средство за туширање може осигурати да се проток гаса равномерно дистрибуира преко целокупне површине вафла, што је пресудно за униформност филма дебљине, уједначеност филма, уједначеност или суткање. Има добру дугорочну стабилност и није лако деформисати или зачепити.

3. Термичко управљање: Добра топлотна проводљивост помаже у одржавању температуре у површини туширања, која је критична за многе топлотне таложне таложење или стругове.

4. Ниска контаминација: Висока чистоћа и хемијска инертност смањују контаминацију сопствених материјала за туш кабина на процес.

Корисничка вредност:

Значајно побољшавате уједначеност и поновљивост процеса резултата, продужите радни век тушшенике, смањите време одржавања и проблеми са честицама и подржите напредније и строже услове процеса.

3) Прстен за фокусирање чврстог сичког медија (чврсти сички јетњи прстен за фокусирање / ивице):

Примена:

Углавном се користи у комори за ектинску опрему (као што је конкуривно спојена плазма ЦЦП или индуктивно спојена плазми ИЦП Етцхер), обично се поставља на ивицу носача од вафера (Цхуцк), окружују се од резина. Његова функција је да се ограничи и води плазми тако да се понаша равномерно на површини резета током заштите других компоненти коморе.

АДВАНЦЕРА АНАЛИЗА:

1. Снажна отпорност на ерозију плазме: Ово је најистакнутија предност прстена за фокусирање СИЦ-а. У изузетно агресивним јеткарским плазмима (као што су хемикалије које садрже флуорински или хлор), СИЦ носи много спорије од кварца, глинице или чак иттријске (иттријум оксида) и има изузетно дуг живот.

2 Одржавање критичних димензија: Висока тврдоћа и велика ригидност омогућавају да се СИЦ фокусира да би боље одржали њихов прецизни облик и величину током дужег периода употребе, што је критично за стабилизацију плазме морфологије и обезбеђивање униформности у плазми и обезбеђивање униформности у плазми.

3. Снојна генерација честица: Због отпорности на хабању, увелике смањује честице које су створиле старење компонентних, на тај начин побољшавајући принос.

4. Висока чистоћа: Избегавајте увођење метала или других нечистоћа.

Корисничка вредност:

Увелико продужава циклусе за замену компонената, значајно смањују трошкове одржавања и прекида опреме; побољшати стабилност и поновљивост процеса јеткања; Смањите оштећења и побољшати принос производње врхунског чипа.

Ⅲ.Резиме

Чврсти силицијум карбид постао је један од неопходних кључних материјала у модерној полуводичкој производњи због јединствене комбинације физичких својстава - високе тврдоће, високог топљења, високе топлотне проводљивости, одлична хемијска стабилност и отпорност на корозију. Whether it is a carrier for carrying wafers, a shower head for controlling gas distribution, or a focusing ring for guiding plasma, solid SiC products help chip manufacturers cope with increasingly stringent process challenges with their excellent performance and reliability, improve production efficiency and product yield, and thus promote the sustainable development of the entire semiconductor industry.

Као водећи произвођач и добављач чврстих силицијума карбида у Кини,Получилацпроизводи као што суЦарсиер / Боат, Чврста глава у облику слова СИЦ-а / гаса, Прстен за фокусирање чврстог система СИЦ-асе широко продају у Европи и Сједињеним Државама и освојили су велике похвале и признање од ових купаца. Искрено се радујемо што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини. Добродошли да се консултујете.

Моб / Вхатсапп: + 86-180 6922 0752

Емаил: анни@ветексеми.цом