Прстен за фокусирање чврстог сичког

Семицондуктор Ветек је постигнут велики напредак у ЦВД СОСИЦ технологији и сада је у могућности да произведе чврсти прстен за фокусирање на чврсти сиц са светском нивоом. Солид СИЦ сеницондуцтор прстен за семицондуцтор је ултра-висока чистоћа силиконски материјал карбидне карбиде који је створен кроз процес хемијских таложења паре.

Учвршћивање чврстог система СИЦ-а и фокусирање се користи у процесима производње полуводича, посебно у системима за етцхинг плазме. СИЦ ФОЦУСИНГ Прстен је пресудна компонента која помаже да се постигне прецизно и контролисано јештење силицијума карабида (сиц) вафера.

Током процеса плазма гравирања, фокусни прстен игра више улога:

● Фокусирање плазме: Чврсти прстен за фокусирање на чврстом сићу помаже у форми и концентрише у плазми око реф-а, осигуравајући да се процес јеткања догодио равномерно и ефикасно. Помаже да се у плазми ограничи на жељено подручје, спречавајући луталице или оштећење околних региона.

●  Заштита коморских зидова: Прстен за фокусирање делује као баријера између плазме и зидова коморе, спречавајући директан контакт и потенцијално оштећење. СиЦ је веома отпоран на ерозију плазме и пружа одличну заштиту за зидове коморе.

●  Tконтрола температуре: АИДС СИЦ ФОЦУСИНГ АИДС у одржавању јединствене дистрибуције температуре по решетку током процеса јеткања. Помаже да расипају топлоту и спречава локализоване прегревања или топлотне градијете који могу утицати на резултате јеткања.

Чврсти сиц је изабран за фокусирање прстенова због неизмирене топлотне и хемијске стабилности, високе механичке чврстоће и отпорности на ерозију у плазми. Ова својства чине СИЦ-у одговарајући материјал за оштре и захтевне услове у системима за етцхинг плазме.

Вриједно је напоменути да дизајн и спецификације фокусирања прстенова могу да варирају у зависности од специфичног система за стругање плазме и процесним захтевима. Семицондуцтор Ветека оптимизује облик, димензије и површинске карактеристике фокусирања прстенова како би се осигурало оптимално јеткање перформанси и дуговечности. Чврсти сић се широко користи за носаче од стране, суцептора, лутке, водитељске прстенове, делове за процес јеткања, процес ЦВД-а итд.