ДЕЕП ДЕЕП ДЕЕП ЛЕД ТОППЕР

ДЕЕП ДЕЕП ДЕЕП ДЕЕП СУЦЕПТОР је основна компонента лежаја уМоцвд (метална органска хемијска параловна страна) Опрема. Стрецептор директно утиче на униформност, контролу дебљине и квалитет материјала дубоког УВ-а, посебно у расту епитаксијалног слоја алуминијумског нитрида (Алн) са високим алуминијумским садржајем, дизајн и перформансе суцептора су пресудни.

СИЦ пресвучен дубоко подметач на ЛЕД-у Спецептор је посебно оптимизован за дубоку УВ ЛЕД епитакксију и прецизно је дизајниран на основу топлотних, механичких и хемијских карактеристика заштите животне средине за испуњавање строгих захтева за процесе.

Семицондуцтор Ветека користи напредну технологију за обраду како би се осигурала јединствена дистрибуција топлоте подцептора у опсегу радне температуре, избегавајући неуједначен раст епитаксијалног слоја изазваног температурним градионом. Прецизна обрада Контрола храпавости површине, минимизира контаминацију честица и побољшава ефикасност топлотне проводљивости контакта површинске површине.

Семицондуктор Ветек користи СГЛ графит као материјал, а површина се третираЦВД СИЦ премаз, што може дуго да издржи НХ3, ХЦл и високу температуру атмосферу. Ветек Семицондуцтор'с СИЦ пресвлачени УВ подметач утакмице топлотног експанзије коефицијента АЛН / ГАН епитакксијашким ваферима, смањујући вафли који се смањује или пукнуто проузроковано термичким стресом током процеса.

Оно што је најважније, Ветек Семицондуцтор'с СИЦ пресвучен УВ подметач савршено се прилагођава маинстреам моцвд опреми (укључујући Вееко К465и, ЕПИК 700, Аиктрон Црису итд.). Подржава прилагођене услуге за величину вафла (2 ~ 8 инча), дизајн слота од лима, температура процеса и друге захтеве.

Сценарији апликације:

● ДЕЕП УВ ЛЕД ПРИПРЕМА: Применљиво на епитаксијални процес уређаја у бенду испод 260 Нм (УВ-Ц дезинфекција, стерилизацију и друга поља).

● Епитаксија нитрида полуступника: Користи се за епитаксалну припрему полуводичких материјала као што су галијум нитрид (ГАН) и алуминијум нитрид (АЛН).

● Епитаксијални експерименти нивоа истраживања: Дееп УВ Епитакти и нови експерименти развоја материјала у универзитетима и истраживачким институцијама.

Помоћу снажног техничког тима, полуводич ветек је у стању да развију суцепцијске структуре и функцијама према потребама купца, подржавају посебне производне процесе и пружају дугорочне услуге.

СЕМ подаци о ЦВД СИЦ премаз филма:

Основна физичка својства ЦВД СИЦ премаза:

То полуводичСИЦ пресвучене дубоке УВ ЛЕД ТРГОВИНЕ ПРОИЗВОДА: