Сиц Цантилевер весла

Ⅰ.Производни преглед употребе

Сиц Цантилевер Весла се углавном користе у производној опреми полуводича као подешавања и преносних компоненти. Његова основна функција је да стабилно и тачно обрађује силиконске вафле под екстремним условима процеса, попут високе температуре и високе корозије, осигуравајући несметано и ефикасан процес производње.

Ⅱ.Адвантеге и карактеристике сиц материјала

СИЦ је напредни керамички материјал чија је одлична физичка својства дају неспорна предност у пољу полуводича. Следе кључни физички параметри који се односе на Сиц Цантилевер весла:

● Висока чистоћа: Употреба система високог чистоће може да смањи контаминацију процеса и побољша принос производа.

● Одлична отпорност на високу температуру: Сиц има тачку топљења до 2830 ° Ц, што му омогућава да одржи структурни интегритет у екстремним температурним окружењима као што су јеткање у плазми и гоњење на високим температурама, а дугорочна радна температура може достићи више од 1000 ° Ц.

● Висока тврдоћа и отпорност на хабање: ММС тврдоћа је 9-9,5, друго само дијамант, дајући СИЦ Цантилевер веслати одлично отпорност на хабање и одржавање стабилности димензија током преноса високофреквентних вафера.

● Одлична топлотна проводљивост: Топлотна проводљивост Сиц керамике је висока као 120-250 В / (М · К) (типична вредност), која може брзо да распрши топлоту и избегне локално прегревање које може оштетити вафло.

● Низак коефицијент топлотне експанзије: Ниска коефицијент топлотног проширења (око 4,0 × 10⁻⁶ / к) Осигурава стабилност димензије када се температура промјене, избегава стрес узрокован термичким ширењем и контракцијама и тако смањује ризик од оштећења оштећења од рефлектора.

Ⅲ. Сценарији апликације Сиц Цантилевер весла

Јединствена својства СИЦ Цантолевер весла омогућавају им да играју кључну улогу у више веза за производњу полуводича:

● Опрема за стругање плазме: У комори за исеџу у плазми, Сиц Цантилевер весла служе као постројење за одлику, који могу да подстакну бомбардовање у плазми и ерозији за корозивну гасију, истовремено одржавајући димензионалну стабилност, осигуравајући тачност и ширење веша.

● Танка опрема за депоновање филма (ЦВД / ПВД): У процесу хемијске таложења паре (ЦВД) и физичке таложења паре (ПВД), сетлови СИЦ Цантилевер користе се за подршку вафлама. Њихова одлична висока температурна отпорност и топлотна проводљивост помажу равномерно загревањем вафла и спречити да се контаминација честица генерише током танког процеса талошког полагања.

● Систем преноса вафла: У аутоматизованом систему преноса на лицу, Сиц Цантилевер весла могу да издрже високофреквентни механички покрет због велике тврдоће и отпорности на хабање, обезбеђујући тачан и брз пренос вафера између различитих процеса, смањујући ризик од оштећења и контаминације.

● Поступак високих температура: У пећи за жањевање високе температуре, Сиц Цантилевер весла могу да издрже ултра-високотемско окружење, пружају стабилну подршку за вафле и осигурати уједначеност и ефикасност процеса жарења.

Ветексемицон је добро упознат са строгим захтевима поступка полуводичких процеса за квалитет производа. Стога подржавамо прилагођене услуге и можемо да пружимо прилагођени дизајн и производњу СИЦ Цантилевер у складу са вашим специфичним захтевима опреме и процеса. И такође ћемо контролисати строгу контролу квалитета како бисмо осигурали да сваки производ прође строге инспекције квалитета како би се осигурало да испуњава највише индустријске стандарде.

Још важније, технички тим Ветек Семицондуцтор-а пружиће вам свеобухватне техничке консултације и решења производа. Одабир нашег весла Сиц Цантилевер значи одабир веће ефикасности производње, дужи век опреме и бољи принос производа. Радујемо се вашим даљим консултацијама.