Који се материјали користе у полуводичким керамичким компонентама?

Алумина Керамика (АЛ₂О₃)

Алумина Керамика су "Воркхорсе" за производњу керамичких компоненти. Они показују одлична механичка својства, ултра високе тачке топљења и тврдоће, отпорност на корозију, снажну хемијску стабилност, високу отпорност и врхунску електричну изолацију. Они се обично користе за израду плоча за полирање, вакуумске стезавице, керамичке руке и сличне делове.

Алуминијум нитридна керамика (Алн)

Алуминијум нитридна керамика има високу термалну проводљивост, коефицијент топлотног експанзије који одговара силиконском и ниском диелектричном константу и губитку. Са предностима као што су висока тачка топљења, тврдоћа, топлотна проводљивости и изолација, они се првенствено користе у подлози топлоте, керамичке млазнице и електростатичким стезаљкама.

ИТТРИА керамика (Ио₂₃)

ИТТРИА керамика има високу тачку топљења, одлична хемијска и фотохемијска стабилност, ниску фонону енергију, високу топлотну проводљивост и добру транспарентност. У полуводичкој индустрији често се комбинују са Алумином керамиком - на пример, ИТТРИА премази се примењују на керамику Алумина да би се производила керамички прозори.

Силицон нитридна керамика (Си₃н₄)

Керамика Силицијум нитрида карактерише висока тачка топљења, изузетна тврдоћа, хемијска стабилност, ниска коефицијент термичког експанзије, висока топлотна проводљивост и јака топлотна отпорност на топлотни удар. Они одржавају изванредни отпорност на ударце и снагу испод 1200 ° Ц, чинећи их идеалним за керамичке подлоге, куке на оптерећењу, позиционирање и керамичке цеви.

Силицијум карбида керамика (СИЦ)

Силицијум карбида керамика, који подсећају на дијамант у некретнинама, су лагани, ултра-тврди материјали и материјали са високим чврстоћом. Са изузетним свеобухватним перформансама, отпорношћу на хабање и отпорност на корозију, широко се користе у седиштима вентила, клизним лежајевима, горионицима, млазницама и измењивачима топлоте.

Цирцонија керамика (Зро₂)

Цирконијска керамика нуде високу механичку чврстоћу, отпорност на топлоту, киселину / алкални отпор и одличну изолацију. На основу садржаја цирконија, они су категорисани у:

• Прецизна керамика (садржај већи од 99,9%, користи се за интегрисане подлоге и високофреквентни изолациони материјали).
• Обична керамика (за керамичке производе опште намене).

Структурне карактеристикеСемицондуцтор керамика Компоненте

Густа керамика

Густа керамика се широко користи у полуводичкој индустрији. Они постижу гумирање минимизирањеним порама и припремају се методама као што су реакциони синтеровање, синтеровање без притиска, синтрање течно-фазе, топло пресовање и вруће изостатско прешање.

Порозна керамика

За разлику од густе керамике, порозна керамика садржи контролисану запремину празнина. Они су класификовани по величини пора у микропорозну, месопорозну и макропорозну керамику. Са ниском густином рано, лагана структура, велика специфична површина, ефикасна филтрација / топлотна изолација / акустичка пригушивачка својства и стабилна хемијска / физичка перформанса, користе се за производњу различитих компоненти у полуводичкој опреми.