Која је специфична наношење делова ТАЦ обложених у пољу полуводича?

Физичка својства танталум карбида (ТАЦ) премаза

Примена танталум карбида (ТАЦ) премаза у пољу полуводича

1. Компоненте реактора за епитаксију

ТАЦ премаз се широко користи у хемијским таложењима паре (ЦВД) Компоненте реактора Галлиум Нитрида (ГАН) Епитаксија и силицијум карбида (СИЦ), укључујућиВозни носачи, сателитска јела, млазнице и сензори. Ове компоненте захтевају изузетно високу издржљивост и стабилност у високим температурама и корозивним окружењима. ТАЦ премаз може ефикасно продужити свој радни век и побољшати принос.

2 Појединачна компонента раста кристала

У јединственом процесу раста кристала материјала као што су СИЦ, ГАН и алуминијум нитрид (АИН),Превлака на тацпримењује се на кључне компоненте као што су варивници, семенски кристални носачи, водилице и филтере. Графички материјали са ТАЦ премазом могу смањити миграцију нечистоће, побољшати квалитет кристала и смањити густину оштећења.

3. Индустријске компоненте високе температуре

ТАЦ премаз се може користити у индустријским апликацијама високих температура као што су отпорни грејни елементи, млазнице убризгавања, оклопне прстенове и учвршћивања лемљења. Ове компоненте морају да одржавају добре перформансе у окружењу на високом температуру, а ТАЦ-ов отпорност на топлоту и отпорност на корозију чине га идеалним избором.

4. Грејачи у МОЦВД системима

Гријачи премазани графит у ТАЦ-у успешно су уведени у металној органској хемијским словима паре (МОЦВД). У поређењу са традиционалним гријачима обложеним ПБН-ом, ТАЦ грејачи могу пружити бољу ефикасност и уједначеност, смањити потрошњу енергије и смањити површинску емисивност, на тај начин побољшати интегритет.

5. Возни носачи

Носачи за пресвучене плоче играју важну улогу у припреми полуводичких материјала треће генерације, као што су Сиц, Аин и Ган. Студије су показале да је стопа корозијеТАЦ премазиу високом температуру амонијак и окружења водоника много је нижа од оне одСиц премази, што чини да показује бољу стабилност и трајност у дугорочној употреби.