Како ТАЦ премаз побољшава услужни живот графичних компоненти? - Ветек полуводич

ЦВД тантал карбид премазпроизводи се таложењем тантал карбида (ТаЦ) из паре на површини графитне подлоге високе чистоће коришћењем ВеТек Семицондуцтор-овог власничког процеса хемијског таложења паром (ЦВД).

Танталум Царбиде (ТАЦ) премази значајно побољшавају радни векГрафитни деловикроз више механизама, посебно у високотемпературним, високо корозивним окружењима као што су производња полупроводника и раст кристала. 

Ево конкретних разлога заштоТАЦ премазипобољшати издржљивост графитних делова:

● Побољшано отпорност на високу температуру

Изузетно висока топлотна стабилност: ТАЦ премази су у стању да остану стабилне на изузетно високим температурама преко 2000 ° Ц и могу чак и ефикасно радити на 2200 ° Ц. Ова толеранција високе температуре омогућава да се премаз издржи ерозију растопљених метала и хемијских гасова током производње полуводича, чиме се продужавају радни век графичних делова.

● Одлична отпорност на корозију

Отпорност на хемијску ерозију: ТаЦ премази имају јаку отпорност на корозивне гасове као што су водоник, амонијак и силицијумска пара, што може ефикасно спречити да ови гасови кородирају графитну подлогу и смањују ризик од оштећења графитних делова у тешким условима. То значи да током процеса раста кристала, премаз може инхибирати миграцију нечистоћа и побољшати квалитет и принос кристала.

● Побољшана механичка својства

Добра адхезија и отпорност на топлотни удар: ТаЦ премази имају јаку адхезију за графитну подлогу, обезбеђујући да се премаз неће љуштити или раслојавати током операција на високим температурама. Поред тога, његова одлична отпорност на термички удар може да издржи брзе промене температуре без пуцања или љуштења, додатно продужавајући век трајања графитних делова.

● Смањите контаминацију нечистоће

Ултра висока чистоћа: ТАЦ премази имају изузетно ниску садржај нечистоће, што помаже у смањењу проблема загађења који се могу појавити под високим температурама. Спречавањем нежељених нечистоћа да се прелазе на епитаксијални слој, ТАЦ премази значајно побољшавају чистоћу и квалитет процеса раста кристала.

●  Оптимизујте управљање топлотом

Побољшати топлотну проводљивост и отпорност: ТаЦ премази имају релативно ниску топлотну проводљивост и отпорност, што омогућава његову примену у грејачима и другим компонентама за управљање топлотом ради побољшања енергетске ефикасности и смањења губитака енергије. Ова карактеристика не само да побољшава радну ефикасност, већ и смањује замор материјала и оштећења узрокована прегревањем.