ТАЦ премаз се тренутно углавном користи у процесима као што су силиконски раст кристала (ПВТ метода), епитаксни диск (укључујући силицијум карбидну епитаксу, итд. Комбиновани са добрим дугорочним стабилној стабилности плоће за превлачење ТАЦ-а, ВЕТЕКСЕММОН-ов ТАЦ прекривач је постао референтни резервни делови ТАЦ-а. Радујемо се што ћете постати наш дугорочни партнер.
То полуводичПлоча за превлачење тацје посебан материјал који се широко користи уполуводичПроизводни процес. У комбинацији са високом тврдоћом и отпорношћу на хабање, високим температурама, отпорност на корозију, ниско коефицијент трења и добру термичку проводљивост, тачка премаз у прекривању игра незамјењиву улогу у многим везама за обраду полуводича.
● ЦВД / АЛД супстрат раста: Висока температура отпорност на високу температуру, хемијска стабилност и ниско трење коефицијент тањира ТАЦ пресвучених плоча чини их идеалним ЦВД / АЛД подлозима раста. Може да обезбеди стабилно окружење за раст како би се осигурала униформност и густину филма.
● Маска за маску: Висока тврдоћа и отпорност на корозију ТАЦ пресвучених плоча омогућавају им да издрже високоенергетске процесе као што су јеткање плазме, као маске маске, штитећи основни филм.
● ЦМП полирање: Отпорност на хабање и ниско трење коефицијент тањира ТАЦ пресвучених плоча, чине их идеалним материјалима за јастучиће за полирање ЦМП-а, који могу ефикасно уклонити честице и оштећења на површини филма.
● Туба високе температуре: Високо температурно отпорност и отпорност на корозију ТАЦ пресвучених плоча омогућавају им да се користе као цеви за пећ у високим температурама за жарења, дифузију и друге процесе високе температуре.
ЦВД ТАЦ ЦОАТИНГ ТЕХНИЧКИ ПАРАМЕТРИ:
Основна физичка својства ЦВД СИЦ премаза
Имовина
Типична вредност
Кристална структура
ФЦЦ Пхасе поликристални, углавном (111) оријентисана
ЦВД ГИСТ ДЕНСИТИ
3,21 г / цм³
Чврстина на превлаку на сићу
Чврстоћа од 2500 Вицкерс (500г оптерећење)
Величина зрна
2 ~ 10мм
Хемијска чистоћа
99.99995%
Капацитет топлоте
640 Ј · кг-1· К-1
Температура сублимације
2700 ℃
Снага савијања
415 МПА РТ 4-тачка
Млади модул
430 ГПА 4ПТ бенд, 1300 ℃
Топлотна проводљивост
300В · м-1· К-1
Термичка експанзија (ЦТЕ)
4.5 × 10-6K-1
Ветек полуводичка ТАЦ премаз резервних делова производа Трговине:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Користимо колачиће да бисмо вам понудили боље искуство прегледања, анализирали саобраћај на сајту и персонализовали садржај. Коришћењем овог сајта прихватате нашу употребу колачића. Политика приватности