СИЦ обложени заптивни прстен за епитакку

Ⅰ. Шта је СИЦ обложени прстен за бртвљење?

СИЦ обложени прстен за бртвљење (СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ БЕРЦЕ ПЕРИНГ) је прецизна компонента за затварање дизајнирана за високу температуру, високо корозивно полуводичко окружење. Његова језгра је кроз хемијску таложење паре (ЦВД) или физички поступци паре (ПВД), површина графита или композитног материјала за графите или угљеник прекривено слојем високо-чистоће силицијумног карбида (СИЦ), формирањем механичке снаге супстрата и премаз високо-перформанси.  

Ⅱ. Састав производа и основна технологија  

1. Материјал подлоге:

Графитни или композитни материјал угљеника-карбона: Основни материјал има предност високог отпора топлоте (може издржати више од 2000 ℃) и ниско коефицијент топлотне експанзије, чиме се обезбеђује димензијска стабилност под екстремним условима као што су висока температура.  

Прецизна структура обраде: Прецизни дизајн прстена може се савршено прилагодити шупљини полуводичке опреме, чиме се обезбеђује равност површине заптивене и добре непропусне болести.  

2 Функционални премаз:  

СИЦ премаз високе чистоће (чистоћа ≥99,99%): Дебљина која је обично 10-50μм, кроз процес ЦВД-а да би се формирао слој густе непорозне површинске структуре, што даје површину заптивене прстена одлична хемијска инертност и механичка својства.

Ⅲ. Основна физичка својства и предности заптивни прстен за бртвљење СИЦ-а за епитакку

Ветексемицнов заптивни прстенови су идеалне за поступке епитаксије полуводича због њихових одличних перформанси под екстремним условима. Испод су специфична физичка својства производа:

ИВ. Основне апликације у полуводичкој епитакпији  

СИЦ обложени заптивни прстен за епитаксу се углавном користи у мокту (металној органским словима хемијских паре) и МБЕ (молекуларне епитаксија) и друга процесна опрема, специфичне функције укључују:  

1. Посемичка опрема за заштиту практичности за реакцију

Наше заптивене заптивене заптивање осигуравају да су димензијске толеранције (обично унутар ± 0,01 мм интерфејса са опремом за опрему (нпр. Прирубница, основна осовина) што је могуће могуће прилагођавањем структуре прстена. 

Истовремено, заптивни прстен је прецизан помоћу ЦНЦ алата за машине како би се осигурало да се униформа уклапа око целог обима контактне површине, елиминишући микроскопске празнине. Ово ефикасно спречава цурење процесних гасова (нпр. Х₂, нх₃), осигурава чистоћу околиш епитаксијалног слоја и побољшава принос од лима.  

С друге стране, добре непропусност гаса такође може блокирати упад спољних загађивача (о₂, х₂о), чиме се ефикасно избегава оштећења у епитаксијалном слоју (као што су дислокације, неуједначене допинг нечистоћа).  

2 Подршка за динамичку заптивање високе температуре  

Усвајање принципа синергистичке анти-деформације подлоге: Због ниског коефицијента термичког субстрата графита (ЦТЕ ≈ 4,5 × 10 ⁶ / ° Ц) је врло мали, а на екстремним високим температурама (> 1000 ℃) ширење је само 1/5 од металних бртве, чиме се ефикасно избегава одвајање површине за заптивање. У комбинацији са ултра-великом тврдоћом СИЦ премаза (ХВ2500 или више), може се ефикасно одупрати огреботинама на површини за заптивање узроковано механичким вибрацијама или утицајем честица и одржавање микроскопске способности.

В. Препоруке за одржавање

1.регуларно проверите да ли је бртвљење површине (тромесечно оптичко истраживање микроскопа) да се избегне нагли квар.  

2. Посебни чистачисти (попут безводног етанола) уклоните депозите, забраните механичко брушење како би се спречило оштећење СИЦ премаза.