Шта је електростатичка Цхуцк (ЕСЦ)?

Електростатички Цхуцк (ЕСЦ), познат и као електростатички Цхуцк (ЕСЦ, Е-Цхуцк) је учвршћење које користи принцип електростатичке адсорпције за држање и поправљање адсорбованог материјала. Погодан је за вакуум и у плазми окружења. Његова главна функција је адсорб ултра-Очистите танке листове (као што су силиконски вафли) и задржите адсорбовани материјал на доброј равности, што такође може да инхибира деформацију адсорбованог материјала током процеса и може да подеси температуру адсорбације.

Електростатички Цхуцк (ЕСЦ) је посебан тип Цхуцка која користи електростатичку силу за задржавање, притисните и покупите предмете (радничке дела). Сваки материјал носи позитивне и негативне оптужбе које су невидљиве на голим оком. Када се материјал постави на ЕСЦ и на адекватној напон се наноси на унутрашње електроде ЕСЦ-а, позитивне и негативне оптужбе ће се кретати унутар материјала како би одговарала поларитету унутрашњих електрода ЕСЦ-а. Ова атракција између ЕСЦ-а и материјала назива се електростатичкој снази и такође је основни принцип иза наших Цхуцкс-а.

Предности производа

Има широк опсег радне температуре (-50 до 700 ℃)

Ове електростатичке усисне шоље имају одличну снагу, топлотну проводљивост и топлотну отпорност на ударце и могу се прилагодити широком температурном опсегу кроз НГК-ову власничку контролу отпорности на јачину отпорности.

Висока отпорност на корозију

Ове електростатичке усисне чаше имају одличну отпорност на корозију на халогене гасове.

Обрада ниске честица

Третман ниског честица може се постићи површинским третманом и специјалним чишћењем

Висока чистоћа

Доступни су и производи са чистоћом од 99,9% или више.

Функција грејања

Висока прецизна технологија уградње грејања може се интегрисати са функцијом грејача, а температура вафла може се контролисати у оквиру ± 1%.

Функција хлађења

Ове електростатичке усисне чаше имају изузетно висок перформанс хлађења лепљењем керамичких плоча са високом термичком проводљивошћу и хладним плочама.

Радио фреквенција електрода

Електроде са скупних метала могу истовремено давати стабилну стезаљку и радиофреквенцијску производњу плазме.

Pараметер

1.У области полуводича и електронске производње: Током полуводича и електронских произвођачких процеса користе се електростатичке усисне чаше, а да се управљају и трепери и крхки силицијумске вафле, трунке, итд. Његове предности, нема механичких стреса и једноставног стреса и једноставно побољшавају ефикасност производње и квалитет производа.

2 Индустрија стакла и керамике: Током процеса сечења, брушења и руковања стаклом и керамиком, електростатичке усисне шоље могу обављати неразорне операције на ломљивим материјалима, смањујући брзину прекршивања производа.

3. Производња прецизних машина и оптичких компоненти: За прецизне машине и оптичке компоненте, електростатичке усисне чаше могу пружити стабилну силу адсорпција, спречавање деформације или огреботине током обраде.

4. Аутоматизоване производне линије: у аутоматизованим производним линијама, електростатички усисни чаше се широко користе у позиционирању, руковању и монтажи делова итд., Побољшавајући степен аутоматизације и ефикасности производне линије.