Примена кварцних компоненти у полуводичкој опреми

Куартз производисе широко користе у процесу производње полуводича због велике чистоће, високе температуре отпорности и снажне хемијске стабилности.

1.Куартз Цруцибле

Апликација - Користи се за цртање монокристалне силицијумске шипке и је потрошн језгра у производњи силицијума.

Кварцни распелиНаправљени су од песка високог чистоћа кварца (4Н8 разред и више) да би се смањила контаминација металним нечистоћима. Требало би да има стабилност високог температура (тачка топљења> 1700 ° Ц) и низак коефицијент топлотне експанзије. Куартз Цруциблес у пољу полуводича углавном се користе за производњу једноструких кристала силицијума. Они су потрошни кварцни контејнери за утоваривање поликристалних силицијских сировина и могу се поделити на квадратне и округле врсте. Квадрате се користе за ливење поликристалних силицијумних ингота, док се округле користе за цртеж монокристалне силицијумске шипке. Може да издржи високе температуре и одржава хемијску стабилност, обезбеђујући чистоћу и квалитет силицијумних једноструких кристала.

2 Куартз цеви за пећ

Кварцне цевиШироко се користе у полуводичкој индустрији због њихових карактеристика као што су отпорност на високим температурама (дугорочна радна температура може достићи преко 1100 ° Ц), хемијским корозијским отпором (стабилан, осим неколико реагенса попут хидрофлуоричне киселине), висока чистоћа (садржај нечистоће) и одлична лагана пренос) и одлична светла) и одлична лагана доскака (посебно против ултраљубичастих зрака). Основни сценарији су концентрисани у више кључних процеса производње вафле производње.

Главне везе апликације:Дифузија, оксидација, ЦВД (хемијска таложење паре)

Сврха:

• Дифузијска цев: користи се у процесима дифузије високе температуре, она носи силиконске вафла за допинг.
• Туба пећи: Подржава кварцне бродове у особине оксидације за третман оксидације високог температура.

Карактеристике:

Мора да испуњава захтеве високе чистоће (метал јон ≤1ппм) и отпорности на деформације високог температура (изнад 1200 ° Ц).

3. Кристални чамац кварц

У зависности од различите опреме, подељен је у вертикалне и хоризонталне врсте. Овисно о различитим фабричким производним линијама, распон величине је 4 до 12 инча. У производњи полуводичких ИЦС-а,кварцни кристални чамциуглавном се користе у процесима преноса, чишћења и прераде и прераде. Као носачи од високе чистоће и високе температуре отпорни на резистенцију, они играју незамјењиву улогу. У процесу дифузије или оксидације цеви пећи, више вафла се поставља на кварцне кристалне чамце и потом се гурну у цев пећи за производњу серије.

Ињектори у полуводичима се углавном користе за прецизно транспорт гаса или течних материјала и примењују се у више кључних поступка поступка, попут танког талог филма, јеткање и допинг.

У процесу чишћења силицијумског транзистор и интегрисана производња циркуита користи се за ношење силицијума и потребно је бити отпорно на киселину и алкални да осигурају да се силицијумске вафли не контаминирају током процеса чишћења.

6 Куартз прирубнице, кварцни прстенови, фокусирање прстенова итд

Користи се у поступцима јеткања полуводича, у комбинацији са другим квартзним производима како би се постигла заптивна заштита шупљине, уско окружује вафли, спречавајући различите врсте контаминације током процеса производње и репродукције заштитне улоге.

Куартз звонаДа ли су кључне компоненте које се обично користе у полуводичкој индустрији, која садржи отпорност на високу температуру, отпорност на корозију и високу светлосну преносну прекривачну прекривач: Кварцно звонско омот се углавном користи као омот за смањење пећи за полисилицон. У производњи полисилицон-а, висока чистоћа трихлоросилана се меша са водоником у одређеном сразмеру, а затим је уведена у редукцијску пећи опремљену куартз белл-ом, где се појављује реакција редукције на проводљивом силицијумском језгру да се депонује и формира полисилитон.

8. Куартз Тенк мокра чишћења

Фаза примене: влажно чишћење силицијума вафера

Употреба: Користи се за прање киселине (ХФ, Х₂СО₄ итд.) И ултразвучно чишћење.

Карактеристике: Снажна хемијска стабилност и отпорност на снажну корозију киселине.

9. Куартз боца за прикупљање течности

Боца за прикупљање течности углавном се користи за прикупљање отпадних течности или преостале течности у поступку влажног чишћења

Током влажног процеса чишћења вафла (као што је РЦА чишћење, чишћење СЦ1 / СЦ2), велика количина ултрапуре воде или реагенса, и након испањања, а након испирања ће се произвести заостала течност која садржи нечистоће у траговима. Након неких процеса премаза (као што је фоторизијски премаз) такође ће бити вишка течности (као што је фоторизијска отпадна течност) које је потребно прикупити.

Функција кварцних боца за прикупљање течности користе се за прикупљање ових преосталих или отпадних течности, посебно у "кораку чишћења чишћења" (као што је фаза пре третмана површине резине), где преостала течност и даље може да садржи малу количину реагенса са високим вредновима или нечистоће које је потребна накнадна анализа. Ниска контаминација кварцних боца може спречити да поново контаминира преосталу течност, олакшавајући накнадни опоравак (као што је пречишћавање реагенса) или прецизно детекцију (као што је анализа садржаја нечистоће у преосталу течности).

Поред тога, кварцне маске направљене од синтетичких кварцних материјала примењују се у фотолитографији као "негативи" фотолитских машина за пренос узорка. А кварцни кристални осцилатори који се користе у танкој таложилој депозиту (ПВД, ЦВД, АЛД) за надгледање дебљине танког филма и осигуравају униформност таложења, између многих других аспеката, нису разрађене у овом чланку.

Закључно, кварцни производи су готово присутни током целог процеса производње полуводича, од раста монокристалног силицијума (кварцкине дробице) до фотолитске маске (кварцне маске), јеткање (кварцни прстенови) и танки слој филма (кварцни кристални осцилатори), који се све ослањају на њихова одлична физичка и хемијска средства. Уз еволуцију полуводичких процеса, захтеви за чистоћу, температурни отпор и димензионалну тачност кварцних материјала биће додатно побољшани.