СИЦ обложени планетарни суцептор

СИЦ обложени планетарни суцептор је планетарни носач обложенСилицијум карбида (СИЦ), која се углавном користи у поступцима омаловажавања полуводичких материјала, као што су метал-органски хемијски таложење паре (МОЦВД), молекуларна епитаксија (МБЕ), итд. Његова главна функција је да се носи и ротира вафла како би се осигурала материјална уједначена и термичка поља. Његова главна функција је да се носи и ротира вафла како би се осигурала конзистентност уједначености материјала и термичкој области, а СИЦ премаз пружа носач са одличном високом температурном отпорношћу, отпорношћу на високу температуру и топлотну проводљивост за полупречности се полуводичивафренОбрада.

Сценари за основне апликације за СИЦ обложени планетарни суцептор

МОЦВД ЕПИТЕКСИЈАЛНИ ПРОЦЕС раста

У процесу МОЦВД-а, планетарни суцептор СИЦ-а се углавном користи за ношење вафла силицијума (СИ), силицијум карбида (сиц), галијум нитрид (ГАН), галијум арсенид (гаас) и других материјала.

● Функционални захтеви: Прецизно позиционирање и синхронизована ротација вафера како би се осигурала јединствена дистрибуција материјала од парамарираних паре на површини резета и повећати уједначеност филма дебљине и састав.

● Предност: СИЦ премази су веома отпорни на корозију и могу издржати ерозију високо реактивних металних органских прекурсора као што су триметилгаллиум (ТМГА) и триметилиндијум (ТМИН), продужавајући свој радни век.

Производња силицијум карбида (сиц)

Планетарни суцептор СИЦ-а се широко користи у епитаксијалном расту уређаја СИЦ напајања, као што су МОСФЕТ, ИГБТ, СБД и други уређаји.

● Функционални захтеви: Обезбедите стабилну платформу за топлотну изједначавање у окружењима високих температура како би се осигурало квалитет кристализације епитаксија и оштећења.

● Предност: СИЦ премази су отпорни на високу температуру (> 1600 ° Ц) и имају коефицијент топлотне експанзије (4,0 × 10 ^ -6 к ^ -1) близу вафера од силицијума, који ефикасно смањује топлотне напоне и побољшава квалитет и стабилност епитаксија.

Дубоко ултраљубичасто (ДУВ) и ултраљубичасто ЛЕД епитаксарија

Планетарни суцептор СИЦ-а је погодан за епитаксијални раст материјала као што су галијум нитрид (ГАН) и алуминијумски галијум нитрид (АЛГАН) и широко се користи у производњи УВ-ЛЕД-ова и микро ЛЕД-ова.

● Функционални захтеви: Одржавајте прецизну контролу температуре и уједначену дистрибуцију ваздуха како би се осигурала тачност таласне дужине и перформансе уређаја.

● Предност: Висока топлотна проводљивост и отпорност на оксидацију омогућавају одличну стабилност на високим температурама током дугих периода рада, помажући побољшању светлосне ефикасности и доследности ЛЕД чипова.

Изаберите векемицно

Планетарни суцептор СИЦ-а ВЕТЕКСЕМЕМЕМОН је показао незамјењиве предности у високом температуру, корозивном полуводичком производном окружењу кроз његова јединствена својства материјала и механичким дизајном. А наши главни планетарни производи за суцепцију су планетарни суцептор СИЦ-а,Алд Планетарни суцептор, ПЛАНЕТАРНИ СУПЛЕР ТАЦи тако даље. Истовремено, ВетеКсемицон је посвећен пружању прилагођених производа и техничких услуга полуводичкој индустрији. Искрено се радујемо вашем дугорочном партнеру у Кини.