Подршка за прекривање карбида танталум

Главна функција полуводичког ветекаТанталум Царбиде (ТАЦ) премазПодршка је да побољшатеОтпорност на топлоту, отпорност на хабање и отпорност на корозијуподлоге премазом слоја превлачења танталум карбида, како би се побољшала тачност и поузданост процеса и проширила радни век компонената. То је производ за превлачење са високим перформансама који се користи у пољу за прераду полуводича.

Полуководни предњи субпор за семицондуцтор ВЕТЕК ТАНЛАЛУМ ЦАРБИДЕ има чврстину МОХС-а од скоро 9 ~ 10, други само дијамантском. Има изузетно снажан отпорност на хабање и може се ефикасно одупријети површинској хабању и утицају током обраде, чиме се ефикасно продужава радни век компоненти опреме. У комбинацији са високом тачком топљења од око 3880 ° Ц, често се користи за превлачење кључних компоненти полуводичке опреме, као што су површински премази подршке структура, опреме за пречишћавање топлоте, коморе или заптивача у полуводичкој опреми за побољшање отпорности на хабање и високу температуру.

Због изузетно високе тачке топљења танталум карбида од око 3880 ° Ц, у процесима за обраду полуводича као што суХемијска таложење паре (ЦВД)иФизичка таложење паре (ПВД), ТАЦ премаз са снажним високим температуралним отпорностима и хемијским корозијским отпором може ефикасно да штити компоненте опреме и спречи корозију или оштећење подлоге у екстремним окружењима, пружајући ефикасну заштиту високих температура у производњи високих температура. Ова функција такође одређује да се Тантем Семицондуцтор-ова подршка за карапским премазом карабида Често се користи у етцхинг и корозивним процесима.

Подршка за прекривање танталум карбида такође има функцију смањења контаминације честица. Током прераде вафле, површинска хабања обично производи контаминацију честица, што утиче на квалитет производа вафла. КАРАКТЕРИСТИКЕ КАРАКТЕРИСТИКЕ ПРОИЗВОДА ТАЦ-а у близини је тврдоћа од 9-10 мо®-а могу ефикасно смањити ову хабање, смањујући на тај начин смањење генерације честица. У комбинацији са одличном термичком проводљивошћу ТАЦ премаза (око 21 В / м · к), може да одржава добру термичку проводљивост под високим температурама, у великој мери побољшавају принос и конзистентност производње вафла.

Главни главни ТАЦ уређаји за семицондуцтор укључујуГријач за превлачење ТАЦ-а, ЦВД ТАЦ прекривач, ТАЦ ротациони ротациони ротаториРезервни део ТАЦ премаза, итд. и подршка прилагођеним услугама производа. Семицондуктор Ветек је посвећен пружању одличних производа и техничких решења за индустрију полуводича. Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Танталум Царбиде (ТАЦ) премаз на микроскопском пресек:

Основна физичка својства ЦВД ТАЦ премаза：