ЦВД ТАЦ прекривач

ТАЦ превлака ротација Суцептор игра кључну улогу у процесима поступка високих температура, као што су ЦВД и МБЕ, и важна је компонента за прераду вожња у производњи полуводича. Међу њима,Превлака на тацИма одличну отпорност на високу температуру, отпорност на корозију и хемијску стабилност, што обезбеђује високу прецизност и висок квалитет током прераде вафла.

ЦВД ТАЦ превлака који се прекриви обично састоји од тац премаза играфитПодлога. Међу њима је, ТАЦ је керамички материјал високих топљења са тачком топљења до 3880 ° Ц. Има изузетно велику тврдоћу (тврдоћа вицкерс до 2000 ХВ), хемијска отпорност на корозију и јаки оксидациони отпор. Стога је ТАЦ премаз одлична високотлачна отпорна на располагања у технологији за прераду полуводича.

Графички супстрат има добру топлотну проводљивост (топлотна проводљивост је око 21 В / м · к) и одлична механичка стабилност. Ова карактеристика одређује да графит постаје идеалан премазподлоге.

ЦВД ТАЦ превлака Кључина се углавном користи у следећој технологије за обраду полуводича:

Магарца: Ветек полуводич ЦВД ТАЦ прекривач је одлична висока температурна отпорност (тачка топљења до 3880 ° Ц) и отпорност на корозију, тако да се често користи у кључним прерађивачким процесима за производњу вафла, као што су висока таложења од тањира и епитакксијални раст. У комбинацији са одличном структурном стабилношћу производа у ултра-високом температурном окружењу, осигурава да опрема може дуго радити у крајњем временском времену под изузетно оштрим условима, чиме се ефикасно побољшавају ефикасност производње и квалитет вафла.

Процес раста епитаксија: У епитаксијским процесима као што суХемијска таложење паре (ЦВД)и молекуларна епитакпија беам (МБЕ), ЦВД ТАЦ превлака за превлачење игра кључну улогу у ношењу. Његов ТАЦ премаз не може да одржава високу чистоћу материјала под екстремним температурама и корозивним атмосфером, већ и ефикасно спречавају контаминацију реактаната на материјалу и корозију реактора, обезбеђујући тачност производног процеса и конзистентности производа.

Као што је водећи кинески ЦВД ТАЦ прекривач за прекривени произвођач и лидер, Ветек Семицондуцтор може да обезбеди прилагођене производе и техничке услуге у складу са вашим опремом и захтевима процеса. Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Танталум Царбиде (ТАЦ) премаз на микроскопском пресек：

Физичка својства ТАЦ премаза：

То полуводич ЦВД ТАЦ прекривене Трговине: