ТАЦ ротациони ротациони ротатор

Ветек Полуцондуцтор ТАЦ Ротациони ротацијски ротатор је кључна компонента за руковање вафлу у полуводичкој обради. То јеТац штаНашИма одличну толеранцију на високом температуру (тачка топљења до 3880 ° Ц), хемијска стабилност и отпорност на корозију, који обезбеђују високу прецизност и висок квалитет у преради плоче.

ТАЦ превлака за ротацију суцептора (ТАНЛАЛУМ ЦАРБОН ЦОАТИНГ Ротатион Суцептор) је компонента кључне опреме која се користи у полуводичкој обради. Обично је инсталиран уХемијска таложење паре (ЦВД)и опрема за молекуларну врху (МБЕ) за подршку и ротирање вафера како би се осигурала јединствена материјална таложења и ефикасна реакција. Ова врста производа значајно побољшава радни век и перформансе опреме у високом температурном и корозивном окружењу превлачењем подлоге саТанталум Царбон (ТАЦ) премаз.

ТАЦ ротацијски ротацијски суцепт обично се састоји од ТАЦ премаза и графита или силицијумског карбида као материјала подлоге. ТАЦ је керамички материјал ултра високе температуре са изузетно високом тачком топљења (тачка топљења до 3880 ° Ц), тврдоћа (тврдоћа вицкерс је око 2000 хК) и одлична хемијска отпорност на корозију. Семицондуктор Ветек-а може ефикасно и равномерно прекрити танталум угљеник на материјалу подлоге путем ЦВД технологије.

Ротациони суцептор је обично израђен од високе термичке проводљивости и материјала велике чврстоће (графит илисилицијум карбид), која може пружити добру механичку подршку и топлотну стабилност у окружењу високих температура. Савршена комбинација двеју одређује савршена перформансе ротације ТАЦ-а за ротацију за подршку и ротирајуће вафле.

ТАЦ прекривач за ротацију суцептора подржава и ротира резину у процесу ЦВД-а. Тврдоћа Вицкерс ТАЦ-а је око 2000 хК, што омогућава да се одупру поновљеним трењем материјала и игра добру подршку улогу, осигуравајући тако да се реакциони гас равномерно дистрибуира на површини од резине и материјал се равномерно делимично. Истовремено, толеранција на високу температуру и отпорност на корозију ТАЦ премаз омогућавају да се дуго времена користи у високом температуру и корозивној атмосфери, која ефикасно избегава контаминацију вафла и носача.

Штавише, топлотна проводљивост ТАЦ-а је 21 в / м · К, која има добар пренос топлоте. Стога је ТАЦ ротацијски ротацијски ротацијски ротатор може равномерно загревати под високим температурама и осигурати уједначеност поступка таложења гаса путем ротационог покрета, и на тај начин одржавање конзистентности и високе квалитетераст од ваниша.

Танталум Царбиде (ТАЦ) премаз на микроскопском пресек：

Физичка својства ТАЦ премаза：

ТАЦ ТАЦКОТОР ТРГОВИНЕ ТРГОВИНЕ: