Производи

Чврсти силицијум карбид

Семицондуцтор Ветека Солид Силицон Царбиде је важна керамичка компонента у плазмиској опреми, чврсти силицијум карбида (ЦВД Силицон Царбиде) Дијелови у опремању за стругање укључујуфокусирање прстенова, гас туш каишева, ладице, ивице ивице итд. Због ниске реактивности и проводљивости чврстог силицијумског карбида (ЦВД силицијум карбида) до гасова за усисавање хлора и флуора који садрже мелорице, то је идеалан материјал за машину за суштину у плазми фокусирање прстенова и других компоненти.


На пример, прстен за фокусирање је важан део постављен изван резина и директан контакт са вафром, применом напона на прстен за фокусирање плазме који пролази кроз прстен, фокусирајући на тај начин уграђивање плазме на линију како би се плазма на резигу фокусирала на тај начин. Традиционални прстен за фокусирање је направљен од силицијума иликварц, Проводни силицијум као уобичајени материјал за фокус, готово је близу проводљивости силицијумског трупа, али недостатак је лоша резистенције у плазми која садрже флуоринским машинама, материали за дијелове машине који се укидају у одређеном временском периоду, биће озбиљни феномен корозије, постоји озбиљна корозија.


SОлид СИЦ ФОЦУС РИНГПринцип рада

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Поређење прстена за фокусирање система и ЦВД СИЦ прстена:

Поређење прстена за фокусирање система и ЦВД СИЦ прстена
Артикал И Цвд сиц
Густина (г / цм)3) 2.33 3.21
Банд Гап (ЕВ) 1.12 2.3
Термичка проводљивост (в / цм ℃) 1.5 5
ЦТЕ (Кс10-6/ ℃) 2.6 4
Еластични модул (ГПА) 150 440
Тврдоћа (ГПА) 11.4 24.5
Отпорност на хабање и корозију Сиромашан Одличан


Семицондуцтор Ветека нуди напредни чврсти силицијум карбид (ЦВД Силицон Царбиде) дијелови попут прстенова за фокусирање СИЦ-а за полуводичку опрему. Наш чврсти силиконски карбидно прстенови фокусирајући традиционални силицијум у погледу механичке чврстоће, хемијске отпорности, топлотне проводљивости, издржљивости са високим температурама и отпорношћу на ион.


Кључне карактеристике наших прстенова са фокусирањем СИЦ-а укључују:

Висока густина за смањене стопе јеткања.

Одлична изолација са високим опсегом.

Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент топлотне експанзије.

Врхунска механичка отпорност на ударце и еластичност.

Висока тврдоћа, отпорност на хабање и отпорност на корозију.

Произведено коришћењемНаплата у плазми хемијски таложење паре (Пецвд)Технике, наши прстенови за фокусирање СИЦ-а задовољавају све веће захтеве за ексцланским процесима у производњи полуводича. Дизајнирани су да издрже већу плазму и енергију, посебно уКонкуривно спојена плазма (КПК)Системи.

СИЦ фокусирање Ветек Семицондуцтор-а пружају изузетне перформансе и поузданост у производњи уређаја за полуводиче. Изаберите наше СИЦ компоненте за врхунски квалитет и ефикасност.


View as  
 
Глава за туширање од чврстог система

Глава за туширање од чврстог система

Глава туша од пуног система за гас игра велику улогу у прављењу гасовоздене униформе у процесу ЦВД-а, чиме се обезбеђује јединствено гријање подлоге. Семицондуктор Ветек је дубоко био у области чврстих СИЦ уређаја дуги низ година и може да пружи купцима прилагођеним главним главама за туширање на чврсто синови. Без обзира који су ваши захтеви, радујемо се вашем упиту.
Процес таложења за хемијску пару Чврсти прстен

Процес таложења за хемијску пару Чврсти прстен

Семицондуктор Ветек је одувек био посвећен истраживању и развоју и производњи напредних полуводичких материјала. Данас је Ветек Семицондуцтор направио велики напредак у хемијским поступцима таложења паре чврстих ивица прстена и може да пружи купцима високо прилагођеним чврстим прстенима ивицама СИЦ-а. Слични прстенови ивице СИЦ-а омогућавају бољу униформу и прецизно позиционирање вафла када се користи са електростатичким Цхуцк-ом, који обезбеђују доследне и поуздане резултате јеткања. Радујемо се вашем захтеву и постаните дугорочни партнери једних других.
Прстен за фокусирање чврстог сичког

Прстен за фокусирање чврстог сичког

Чврсти СиЦ прстен за јеткање је једна од кључних компоненти процеса јеткања плочице, која игра улогу у фиксирању плочице, фокусирању плазме и побољшању униформности нагризања плочице. Као водећи произвођач СиЦ Фоцусинг Ринг у Кини, ВеТек Семицондуцтор има напредну технологију и зрели процес, и производи Солид СиЦ Етцхинг Фоцусинг Ринг који у потпуности задовољава потребе крајњих купаца према захтевима купаца. Радујемо се вашем упиту и томе да постанемо једни другима дугорочни партнери.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Као професионалац Чврсти силицијум карбид произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Чврсти силицијум карбид направљене у Кини, можете нас оставити порука.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept