КР код

О нама
Производи
Контактирајте нас
Телефон
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
Адреса
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина
Семицондуцтор Ветека Солид Силицон Царбиде је важна керамичка компонента у плазмиској опреми, чврсти силицијум карбида (ЦВД Силицон Царбиде) Дијелови у опремању за стругање укључујуфокусирање прстенова, гас туш каишева, ладице, ивице ивице итд. Због ниске реактивности и проводљивости чврстог силицијумског карбида (ЦВД силицијум карбида) до гасова за усисавање хлора и флуора који садрже мелорице, то је идеалан материјал за машину за суштину у плазми фокусирање прстенова и других компоненти.
На пример, прстен за фокусирање је важан део постављен изван резина и директан контакт са вафром, применом напона на прстен за фокусирање плазме који пролази кроз прстен, фокусирајући на тај начин уграђивање плазме на линију како би се плазма на резигу фокусирала на тај начин. Традиционални прстен за фокусирање је направљен од силицијума иликварц, Проводни силицијум као уобичајени материјал за фокус, готово је близу проводљивости силицијумског трупа, али недостатак је лоша резистенције у плазми која садрже флуоринским машинама, материали за дијелове машине који се укидају у одређеном временском периоду, биће озбиљни феномен корозије, постоји озбиљна корозија.
SОлид СИЦ ФОЦУС РИНГПринцип рада:
Поређење прстена за фокусирање система и ЦВД СИЦ прстена:
Поређење прстена за фокусирање система и ЦВД СИЦ прстена | ||
Артикал | И | Цвд сиц |
Густина (г / цм)3) | 2.33 | 3.21 |
Банд Гап (ЕВ) | 1.12 | 2.3 |
Термичка проводљивост (в / цм ℃) | 1.5 | 5 |
ЦТЕ (Кс10-6/ ℃) | 2.6 | 4 |
Еластични модул (ГПА) | 150 | 440 |
Тврдоћа (ГПА) | 11.4 | 24.5 |
Отпорност на хабање и корозију | Сиромашан | Одличан |
Семицондуцтор Ветека нуди напредни чврсти силицијум карбид (ЦВД Силицон Царбиде) дијелови попут прстенова за фокусирање СИЦ-а за полуводичку опрему. Наш чврсти силиконски карбидно прстенови фокусирајући традиционални силицијум у погледу механичке чврстоће, хемијске отпорности, топлотне проводљивости, издржљивости са високим температурама и отпорношћу на ион.
Висока густина за смањене стопе јеткања.
Одлична изолација са високим опсегом.
Висока топлотна проводљивост и низак коефицијент топлотне експанзије.
Врхунска механичка отпорност на ударце и еластичност.
Висока тврдоћа, отпорност на хабање и отпорност на корозију.
Произведено коришћењемНаплата у плазми хемијски таложење паре (Пецвд)Технике, наши прстенови за фокусирање СИЦ-а задовољавају све веће захтеве за ексцланским процесима у производњи полуводича. Дизајнирани су да издрже већу плазму и енергију, посебно уКонкуривно спојена плазма (КПК)Системи.
СИЦ фокусирање Ветек Семицондуцтор-а пружају изузетне перформансе и поузданост у производњи уређаја за полуводиче. Изаберите наше СИЦ компоненте за врхунски квалитет и ефикасност.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина
Цопиригхт © 2024 Ветек Семицондуцтор Тецхнологи Цо, Лтд. Сва права задржана.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |