ЦВД СиЦ обложен РТП сусцептор

Карактеристике

• Термичка униформност – Висока топлотна дифузивност материјала омогућава брз, просторно уједначен пренос топлоте, подржавајући поновљиве температурне профиле плочице.
• Висок ниво чистоће – ЦВД СиЦ премаз постиже чистоћу од 99,99995%, ефикасно смањујући ризик од контаминације мобилним јонима и металом у критичним корацима процеса.
• Хемијска издржљивост – Премаз показује јаку отпорност на корозивне врсте, укључујући гасове на бази халогена, под повишеним температурама. Продужени сервисни интервали – Побољшана отпорност на оксидацију и хабање доводи до мање замена и смањеног времена застоја алата.
• Флексибилност дизајна – Димензије и конфигурације се могу прилагодити тако да одговарају специфичним геометријама РТП коморе и величинама плочице.

Апликације

• Брза термичка обрада (РТП)
• Брзо термичко жарење (РТА)
• Активација допанта Кораци оксидације и жарења
• Производња интегрисаног кола (ИЦ).
• Израда енергетских уређајаТехничка

Спецификације

Зашто одабрати ВеТек Семицондуцтор?

· Ин-хоусе ЦВД СиЦ процес наношења премаза развијен посебно за захтеве за полупроводнике.

· Интегрисане могућности за пречишћавање графита, прецизну машинску обраду и контролу дебљине премаза.

· Доказана адхезија премаза и уједначеност слоја у серијској производњи.

· Инжењерска подршка за прилагођене дизајне носача компатибилних са главним платформама РТП алата.

· Ригорозна инспекција улазног материјала, праћење у процесу и коначно квалификационо тестирање осигуравају конзистентност од серије до серије.