Шта су керамика силицијум карбида?

У данашњем процвату полуводичка индустрија, полуводичка керамичка компонента обезбедила су витални положај у полуводичкој опреми због својих јединствених својстава. Хајде да унесемо у ове критичне компоненте.

Ⅰ.Који се материјали користе у полуводичким керамичким компонентама?

(1) Алумина Керамика (АЛ₂О₃)

Алумина Керамика су "Воркхорсе" за производњу керамичких компоненти. Они показују одлична механичка својства, ултра високе тачке топљења и тврдоће, отпорност на корозију, снажну хемијску стабилност, високу отпорност и врхунску електричну изолацију. Они се обично користе за израду плоча за полирање, вакуумске стезавице, керамичке руке и сличне делове.

(2) Алуминијумска нитридна керамика (Алн)

Алуминијум нитридна керамика има високу термалну проводљивост, коефицијент топлотног експанзије који одговара силиконском и ниском диелектричном константу и губитку. Са предностима као што су висока тачка топљења, тврдоћа, топлотна проводљивости и изолација, они се првенствено користе у подлози топлоте, керамичке млазнице и електростатичким стезаљкама.

(3) ИТТРИА керамика (ио₃)

ИТТРИА керамика има високу тачку топљења, одлична хемијска и фотохемијска стабилност, ниску фонону енергију, високу топлотну проводљивост и добру транспарентност. У полуводичкој индустрији често се комбинују са Алумином керамиком - на пример, ИТТРИА премази се примењују на керамику Алумина да би се производила керамички прозори.

(4) Церамика Силицијум нитрида (Сионн₄)

Керамика Силицијум нитрида карактерише висока тачка топљења, изузетна тврдоћа, хемијска стабилност, ниска коефицијент термичког експанзије, висока топлотна проводљивост и јака топлотна отпорност на топлотни удар. Они одржавају изванредни отпорност на ударце и снагу испод 1200 ° Ц, чинећи их идеалним за керамичке подлоге, куке на оптерећењу, позиционирање и керамичке цеви.

(5) керамика силицијум карбида (СИЦ)

Силицијум карбида керамика, подсећа на дијамант у некретнинама, су лагани, ултра-тврди материјали и материјали са високим чврстоћом. Са изузетним свеобухватним перформансама, отпорношћу на хабање и отпорност на корозију, широко се користе у седиштима вентила, клизним лежајевима, горионицима, млазницама и измењивачима топлоте.

(6) Церамика Зирконија (Зро₂)

Цирконијска керамика нуде високу механичку чврстоћу, отпорност на топлоту, киселину / алкални отпор и одличну изолацију. На основу садржаја цирконија, они су категорисани у:

● Прецисион керамика (садржај већи од 99,9%, користи се за интегрисане подлоге круга и високофреквентни изолациони материјали).

● Обична керамика (за керамичке производе опште намене).

Ⅱ.Структурне карактеристике полуводичких керамичких компоненти

(1) густа керамика

Густа керамика се широко користи у полуводичкој индустрији. Они постижу гумирање минимизирањеним порама и припремају се методама као што су реакциони синтеровање, синтеровање без притиска, синтрање течно-фазе, топло пресовање и вруће изостатско прешање.

(2) порозна керамика

За разлику од густе керамике, порозна керамика садржи контролисану запремину празнина. Они су класификовани по величини пора у микропорозну, месопорозну и макропорозну керамику. Са ниском густином рано, лагана структура, велика специфична површина, ефикасна филтрација / топлотна изолација / акустичка пригушивачка својства и стабилна хемијска / физичка перформанса, користе се за производњу различитих компоненти у полуводичкој опреми.

Ⅲ.Како се формира полуводичка керамика?

Постоје разне методе обликовања за керамичке производе, а најчешће коришћене методе обликовања за полуводичке керамичке делове су следеће:

Ⅳ.Методе синтеровања керамичке компоненте полуводича

1.Солидно-државно синтеровање

Постижава гушење кроз масовни транспорт без течних фаза, погодних за керамику високог чистоће.

2.ликуид-фазни синтеровање

Користите пролазне фазе течности да би побољшали денсификацију, али ризикује радне стаклене стаклене фазе које деградирају перформансе високог температуре.

3. Самопловање синтезе високе температуре (СХС)

Се ослања на егзотермне реакције за брзу синтезу, посебно на снагу за не-стоихиометријска једињења.

4.МицРоваве синтеровање

Омогућује једнолично гријање и брзу прераду, побољшање механичких својстава у керамици за субмитрон-скале.

5.Спарк Синтеринг плазма (СПС)

Комбинује пулсерене електричне струје и притисак за ултрафаст гушење, идеално за материјале високог перформанси.

6.Фласх синтеровање

Примјењује електрична поља како би се постигла денификација ниске температуре са потисним растом зрна.

7.Колдирање синтеровања

Користи пролазне раствараче и притисак за консолидацију ниског температура, критично за температурне материјале.

8.Опостровни притисак синтеровање

Појачава гунсификацију и интерфејска чврстоћу кроз динамички притисак, смањујући преосталу порозност