Грејач керамичког превлака силицијум карбида

То полуводичСиликонски гријач керамичког премаза је грејач дизајниран за високу температуру и оштре окружења. Он премаз слој силицијумског карбонског керамичког премаза (СИЦ) на површини грејања да би се добила опрема одлична отпорност топлоте, отпорност на корозију и топлотну проводљивост. 

Грејач керамичког превлака силицијум карбидасе углавном користи у вакуумској опреми (испаравања) опреме. Обично коришћене методе су ПЦД (хемијско сушење) и ПВД ​​(физичка таложење паре), која се широко користи у полуводичкој производњи и другим индустријским апликацијама високе потражње.

У комбинацији са дизајном превлачења високих перформанси силицијумског грејача керамичког премаза,Може пружити одлично решење за грејање за процесе високих температура.

Одлична топлотна проводљивост: Сиц материјал има одличну топлотну проводљивост, осигуравајући да грејач може постићи јединствену дистрибуцију топлоте у радној области и смањити градијете температуре.

Обезбедите једноличну дистрибуцију топлоте: Силицијум карбидног керамичког превлака за превлачење користи високу топлотну проводљивост СИЦ материјала за постизање јединствене дистрибуције температуре у целој мјери грејања. Ово је пресудно за осигурање уједначених топлотних третмана полуводичких вафера у различитим процесима високих температура као што су брза термичка обрада (РТП), дифузија и оксидација, избегавање оштећења производа узрокованих локалним прегревањем или неравним температурама.

Толеранција високе температуре: Сички премаз омогућава грејачу да издржи изузетно високе температуре, обично до 1600 ° Ц, погодним за различите процесе прераде високог температура.

Побољшање отпорности на топлоту: Будући да се премаз може издржати изузетно високе температуре, добро се сналази у процесима који захтевају дугорочно високе температуре. На пример, у хемијским таложењима паре (ЦВД), Силицијум карбид керамички гријач за превлачење може осигурати дуготрајно стабилно деловање опреме на високим температурама и одржавати доследне перформансе грејања, чиме се побољшава поновљивост и поузданост процеса.

Хемијска отпорност на корозију: СИЦ премаз има изузетно високу отпорност на киселину, алкални и корозивни гасови и може дуго да остане стабилан у сложеној хемијској амбалажној амбалажној окофери, продужавајући живот опреме. 

Проширење живота опреме: Сиц премаз има одличну отпорност на оксидацију и отпорност на корозију и ефикасно се одупиру хемијским ерозији и оксидацији на високим температурама. Ово је веома критично у процесу производње полуводича, посебно у окружењу које рукује корозивним гасовима и хемикалијама. Заштитни ефекат премаза може значајно продужити радни век грејача и смањити учесталост замјене и трошкове одржавања опреме.

Основна физичка својства силицијумског грејача керамичког премаза:

Ветек полуводич Силицон Царбиде Керамички купач заклапање:

Преглед ланца Епитаксије Епитакти Епитак: