Компоненте планетарног реактора Аиктрон Г10 од чврстог СиЦ

1. Кључне карактеристике и предности

• Потпуно густа, чврста СиЦ структура без везива за врхунску отпорност на хабање и корозију

• Одлична топлотна проводљивост и отпорност на топлотни удар на температурама изнад 1500 °Ц

• Ултра-ниско стварање честица и висока чистоћа, минимизирајући ризик од контаминације

• Изузетна хемијска инертност према процесним гасовима који се користе у СиЦ епитаксији

• Дуг радни век под поновљеним циклусом високе температуре

• Прецизно обрађене до уских толеранција димензија за поуздано уклапање и стабилност процеса

 2. Типичне примене

Ови додаци за чврсти СиЦ се користе у кључним функционалним областима реактора Аиктрон Г10, укључујући:

• Покривне плоче и одабрани покривни елементи

• Заштитни прстенови и компоненте које се јако троше

• Прецизне игле, подлошке и мали структурни делови

• Други прилагођени уметци високе чистоће изложени интензивном протоку гаса или термичком оптерећењу

Они подржавају стабилну дистрибуцију температуре, уједначену испоруку гаса и ниску густину дефеката током епитаксијалног раста СиЦ великог обима за енергетске МОСФЕТ-ове, диоде и сродне уређаје са широким појасом.

3. Зашто одабрати ВеТек Солид СиЦ за Аиктрон Г10?

Као специјализовани произвођач материјала за полупроводнике, ВеТек Семицондуцтор обезбеђује:

• Компоненте од чврстог СиЦ високе чистоће прилагођене за Аиктрон Г10 системе, на пример: Поклопни прстен, Унутрашњи/спољни поклопци, Плоча за повлачење/подршка, Сателитски диск, Сусцептор

• Строга контрола чистоће и прецизна ЦНЦ обрада

• Комплементарна решења укључујући графит обложен ЦВД СиЦ-ом и делове пресвучене ТаЦ за потпуну покривеност топлотног поља

• Прилагођени дизајн прилагођен специфичним условима процеса и конфигурацијама реактора

Наша Солид СиЦ додатна опрема помаже купцима да максимизирају предности продуктивности Аиктрон Г10 платформе—високу излазну резину, одличну дебљину и уједначеност допинга, и конкурентну цену поседовања— док продужавају животни век компоненте и смањују губитак приноса у вези са честицама.