МОЦВД технологија

ВеТек Семицондуцтор има предност и искуство у МОЦВД технологији резервних делова.

МОЦВД, пуни назив Метал-Органиц Цхемицал Вапор Депоситион (метал-органиц Цхемицал Вапор Депоситион), такође се може назвати епитаксијом метал-органске парне фазе. Органометална једињења су класа једињења са везом метал-угљеник. Ова једињења садрже најмање једну хемијску везу између метала и атома угљеника. Метал-органска једињења се често користе као прекурсори и могу формирати танке филмове или наноструктуре на подлози кроз различите технике таложења.

Метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД технологија) је уобичајена епитаксијална технологија раста, МОЦВД технологија се широко користи у производњи полупроводничких ласера ​​и ЛЕД диода. Посебно када се производи ЛЕД диоде, МОЦВД је кључна технологија за производњу галијум нитрида (ГаН) и сродних материјала.

Постоје два главна облика епитаксије: Епитаксија течне фазе (ЛПЕ) и Епитаксија у парној фази (ВПЕ). Епитаксија у гасној фази се даље може поделити на метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД) и епитаксију молекуларним снопом (МБЕ).

Стране произвођаче опреме углавном представљају Аиктрон и Веецо. МОЦВД систем је једна од кључних опреме за производњу ласера, ЛЕД диода, фотоелектричних компоненти, напајања, РФ уређаја и соларних ћелија.

Главне карактеристике резервних делова МОЦВД технологије које производи наша компанија:

1) Висока густина и пуна инкапсулација: графитна база као целина је у високој температури и корозивном радном окружењу, површина мора бити потпуно умотана, а премаз мора имати добру густину да би играо добру заштитну улогу.

2) Добра равност површине: Пошто графитна база која се користи за раст монокристала захтева веома високу равност површине, првобитну равност базе треба одржавати након што је премаз припремљен, односно слој премаза мора бити уједначен.

3) Добра чврстоћа везивања: Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне базе и материјала за премазивање, што може ефикасно побољшати чврстоћу везивања између њих, а премаз није лако пукнути након топлоте високе и ниске температуре циклус.

4) Висока топлотна проводљивост: висококвалитетни раст чипова захтева да графитна база обезбеди брзу и уједначену топлоту, тако да материјал за облагање треба да има високу топлотну проводљивост.

5) Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високој температури, отпорност на корозију: премаз треба да буде у стању да стабилно ради на високој температури и корозивном радном окружењу.

Поставите подлогу од 4 инча
Плаво-зелена епитаксија за узгој ЛЕД
Смештен у реакционој комори
Директан контакт са плочицом Поставите подлогу од 4 инча
Користи се за узгој УВ ЛЕД епитаксијалног филма
Смештен у реакционој комори
Директан контакт са плочицом Веецо К868/Веецо К700 машина
Бела ЛЕД епитаксија/Плаво-зелена ЛЕД епитаксија Користи се у ВЕЕЦО опреми
За МОЦВД епитаксију
СиЦ Цоатинг Сусцептор Аиктрон ТС опрема
Дубока ултраљубичаста епитаксија
Подлога од 2 инча Веецо Екуипмент
Црвено-жута ЛЕД епитаксија
4-инчна подлога за плочице ТаЦ Цоатед Сусцептор
(СиЦ Епи/ УВ ЛЕД пријемник) СиЦ Цоатед Сусцептор
(АЛД/ Си Епи/ ЛЕД МОЦВД сусцептор)