Аиктрон Моцвд Суппорт

Суцепцитори произведени од странеТо полуводичизрађени су од графитног подлоге и силицијум карбида (сиц) премаз. С обзиром на вишу отпорност на хабање, отпорност на корозију и изузетно велику тврдоћу СИЦ материјала, посебно је погодан за употребу у оштрим процесним окружењима. Због тога се суцепцитори произведени од стране Ветек Семицондуцтор могу се директно користити у процесима МОЦВД-а са високим температурама без додатних површинских третмана.

Суцептори су кључне компоненте у производњи полуводича, посебно у моквдској опреми за танке процесе омаловажавања филма. Главна улогаАиктрон СиЦ пријемникУ процесу МОЦВД-а је ношење полуводичких вафера, обезбедити униформне и висококвалитетне танке филмове пружајући уједначеном окружењу за дистрибуцију топлоте и реакција, чиме се постиже висококвалитетни танки филмску продукцију.

Аиктрон МОЦВД рецепторсе обично користи за подупирање и фиксирање базе полупроводничких плочица како би се осигурала стабилност плочице током процеса таложења. У исто време, површински премаз Аиктрон МОЦВД Сусцептора је направљен од силицијум карбида (СиЦ), материјала високе топлотне проводљивости. СиЦ премаз обезбеђује уједначену температуру на површини плочице, а равномерно загревање је неопходно за добијање висококвалитетних филмова.

Штавише, тоАиктрон МОЦВД рецепторкоју производимо игра већу улогу у контроли протока и дистрибуције реактивних гасова кроз оптимизован дизајн материјала. Избегавајте вртложне струје и температурне градијенте да бисте постигли равномерно таложење филма.

Што је још важније, у МОЦВД процесу, материјал за облагање од силицијум карбида (СиЦ) има отпорност на корозију, тако даТо полуводич'сАиктрон МОЦВД рецептортакође може да издржи високе температуре и корозивне гасове.

Основна физичка својстваСИЦ ЦОАТИНГ:

ВеТек Семицондуцтор Вафер Боат продавнице:

Преглед ланца епитаксије Цхип Епитакти Епитак: