Глава за туширање од чврстог система

Глава за туширање од чврстог система

Семицондуктор Ветек је интегрисана компанија посвећена истраживању, производњи и продаји. Семицондуктор Ветекда ради на полуводичкој епитакшији, сушивању и другим производима који се односе на процесе дуги низ година, посебно ЦВД СИЦ премаз, ЦВД ТАЦ прекривач и ЦВД СОЛИД СИЦ су наши водећи производи.

Семицондуцтор Ветек Семицондуцтор Чврста глава за туширање гаса обично се користи да равномерно дистрибуира прекурсорске гасове на површину подлоге током процеса ЦВД-а за полуводиче. Коришћење ЦВД-СИЦ материјала за главе за туширање нуди неколико предности. Његова висока топлотна проводљивост помаже да се распршила топлота створила у процесу ЦВД-а, осигуравајући јединствену дистрибуцију температуре на подлогу. Поред тога, хемијска стабилност ЦВД Сиц-а Хемијска стабилност омогућава му да издржи корозивне гасове и оштре окружења која се обично сусрећу у процесима ЦВД-а. 

Дизајн ЦВД СиЦ туш глава може се прилагодити специфичним ЦВД системима и захтевима процеса. Међутим, они се обично састоје од плоче или компоненте у облику диска са низом прецизно избушених рупа или прореза. Шаблон и геометрија рупа су пажљиво дизајнирани да обезбеде равномерну дистрибуцију гаса и брзину протока преко површине подлоге.

Физичка својства чврстог СиЦ