Керамички премаз силицијум карбида

То полуводич Керамички премаз силицијум карбидаје заштитни премаз високих перформанси од изузетно тврдог и трошерског материјала отпоран на силицијум (СИЦ), који пружа одличну хемијску корозију отпорност на високу корозију и стабилност са високом температуром. Ова својства су пресудна у полуводичкој продукцији, тако да се силицијум карбидно керамички премаз широко користи на кључним компонентама производне опреме за полуводиче.

Специфична улога коју је играла Ветек Семицондуцтор Силицон Царбиде Керамички премаз у полуводичкој производњи јекако следи:

Повећавају издржљивост опреме: Керамички премаз силицијум карбида пружа одличну површинску заштиту за производњу полуводича са својом изузетно великом тврдоћом и отпорношћу на хабање. Посебно у високој температури, високо корозивно процесно окружење, као што су таложење хемијских паре (ЦВД) и јеткање плазме, силиконским карбидним керамичким премазом могу ефикасно спречити оштећење површине опреме због хемијске ерозије или физичког хабања, што значајно проширује радни век и смањујуће замјене и одржавање.

Побољшати чистоћу процеса: У процесу производње полуводича, било која ситна контаминација може проузроковати оштећења производа. Хемијска инертност керамичког премаза Силицијум карбида омогућава да остане стабилна под екстремним условима, спречи материјал из пуштања честица или нечистоћа и осигурати чистоћу животне средине током процеса. Ово је посебно важно за производне кораке који захтевају високу прецизност и високу чистоћу, као што је Имплантација у износу од Пекара и ИОН-а.

Оптимизирајте топлотно управљање: У полуводичкој обради високотемпеум температура, као што су брза термичка обрада (РТП) и оксидациони процеси, висока топлотна проводљивост керамичког премаза за силицијум карбида омогућава јединствену дистрибуцију температуре унутар опреме. Ово помаже у смањењу термичког стреса и деформације материјала узроковано флуктуацијама температуре, на тај начин побољшање тачности и доследности производње производа.

Подршка сложене процесне животне средине: У процесима који захтевају сложену контролу атмосфере, као што су процеси иЦП Етцхинг и ПСС, стабилност и оксидациони керамички гријач са силицијумним карбидама, осигуравају стабилно перформансе опреме у дугорочном раду, смањење ризика од оштећења од утицаја или опреме за заштиту животне средине.

То полуводичфокусира се на производњу и снабдевање високим перформансамаКерамички премаз силицијум карбидаи посвећен је пружању напредне технологије и решења производа за полуводичку индустрију.Искрено се надамо да ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.

Основна физичка својстваКерамички премаз силицијум карбида:

Семицондуцтор Ветек Семицондуцтор СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ керамичке продавнице за превлаке:

Преглед ланца епитаксије Цхип Епитакти Епитак: