Графички грејач за силицијум карбид керамике

То полуводич Графички грејач за силицијум карбид керамикеКомбинује одличну електричну и топлотну проводљивост графита са високом температурном отпором, отпорност на корозију и отпорност на корозију силицијумног карбонског керамичког премаза и дизајниран је за оштре полуводичке производне окружења. 

Графички грејач за силицијум карбид керамикесе углавном користи у вакуумским премазама (испаравањем), а методе које се обично користе су ПЦД (хемијско сушење у плазми) и ПВД ​​(физичка таложење паре). Овај производ је одиграо важну улогу у промоцији технолошког напретка и побољшање ефикасности производње у полуводичкој индустрији.Искрено се радујемо даљој сарадњи са вама.

Материјалне и структурне карактеристике силицијумског грејача керамичког превлака керамике су следеће:

Графитни подложак: Графит је познат по својој високој термичкој проводљивости и ниском коефицијенту термичке експанзије. Може брзо да одговори на промене температуре и одржавање структурне стабилности на високим температурама.

Силицијум карбонски керамички премаз: СИЦ премаз је равномерно пресвучен на графитној површини кроз хемијску таложење паре или других напредних процеса. Сиц има изузетно високу тврдоћу и хемијски отпорност на корозију, што може заштитити графитску подлогу од оксидације високог температура и корозивног окружења.

Специјални структурални дизајн производа од силицијумског карбидног керамичког превлачења уграђује графитНезамјењиве предности производа овог производа у процесу за обраду полуводича:

Ефикасно и једнолично гријање:

Топлотна проводљивост: Висока топлотна проводљивост графита омогућава грејачу да брзо достигне и одржава потребну температуру, а СИЦ премаз осигурава уједначену расподелу топлоте. Ово је посебно важно за поступке полуводича који захтевају прецизну контролу температуре, као што је брза термичка обрада (РТП) и хемијски таложење паре (ЦВД).

Температурна уједначена: Кроз униформну дистрибуцију топлоте, силицијум карбид керамички преклопни грејач може ефикасно смањити градијент термичког стреса и температуре, осигуравајући стабилност конзистентности и квалитета полуводичких вафера током процеса грејања.

Заштита од корозије:

Хемијска отпорност: Хемијски отпорност на корозију СИЦ премаза омогућава грејачу да ради стабилно и дуго времена у корозивним гасовима и хемијским и хемијским окружењима, избегавајући оштећење графитне супстрата. Ова функција је посебно критична у процесима као што су хемијски таложење паре (ЦВД) и побољшана хемијска паре у плазми (ПЕЦВД).

Отпорност на оксидацију: На високим температурама, СИЦ премаз може да спречи оксидацију графитног супстрата, продужи радни век грејача и смањите фреквенцију и трошкове одржавања опреме.

Смањите контаминацију честица:

Површинска стабилност: СИЦ премаз није само отпоран на хабање, већ и спречава и честице да падну са површине материјала због топлотних бициклистичких или хемијских реакција, чиме се смањује ризик од контаминације честица које се може догодити током производње полуводича и обезбеђивање животне средине за чистоћу.

Побољшати поузданост и ефикасност процеса:

Дугогодишњи дизајн: Због комбинације механичке снаге графита и отпорности на хабање, силицијум карбид керамички графички грејач са високом ефикасношћу може дуготрајно одржати високу ефикасност у складу са оштрим процесним условима, значајно побољшавајући укупну поузданост опреме.

Ефикасна употреба енергије: Висока топлотна проводљивост графита и стабилност високог температуре на септембру омогућавају грејачу да смањи потрошњу енергије, истовремено побољшање тачности контроле температуре, на тај начин побољшавајући целокупну ефикасност производње полуводича.

Основна физичка својстваГрафички грејач за силицијум карбид керамике:

То полуводичГрафички грејач за силицијум карбид керамикепродавнице:

Преглед ланца епитаксије Цхип Епитакти Епитак:

/ други поступак