СИЦ пресвучен сателитски поклопац за моцвд

Као водећи СИЦ пресвучен мотографски поклопац сателитског поклопца у Кини, ВетекЕмЦон је посвећен пружању решења епитаксијачког процеса високих перформанси полуводичкој индустрији. Наши прекривачи премазани мокту пажљиво су дизајнирани и обично се користе у сателитском систему суцептора (ССС) да би подржали и покривали вафле или узорке за оптимизацију окружења за раст и побољшање квалитета епитаксија.

Кључни материјали и структуре

● Подлоге: Покривач премазаног премаза је обично направљен од високе чистоће графит или керамичка супстрата, као што је изостатско графит, да би се добила добра механичка чврстоћа и лагане тежине.

●  Површински премаз: Материјал високе чистоће силицијумског карбида (СИЦ) пресвучен коришћењем поступка хемијске талодије паре (ЦВД) да би се побољшао отпорност на високе температуре, корозију и контаминацију честица.

●  Образац: Типично у облику диска или са посебним структуралним дизајном да се прилагоди различитим моделима МОЦВД опреме (нпр. Вееко, аиктрон).

Употреба и кључне улоге у процесу мокту:

СИЦ пресвучен сателитски покривач за Моцвд углавном се користи у комори за реакцију ЕпитакАк-а МОЦВД, а њене функције укључују:

(1) Заштита вафла и оптимизације дистрибуције температуре

Као кључна компонента за заштиту топлоте у моквдској опреми, он покрива обод резета да смањи неједнакорно гријање и побољшава униформност температуре раста.

Карактеристике: Силиконски карагидни премаз има добру стабилност високе температуре и топлотну проводљивост (300 В.М.М.^-1-К^-1), која помаже у побољшању дебљине епитаксија и допиншких униформности.

(2) Спречите контаминацију честица и побољшати квалитет слоја епитаксија

Густа и површина отпорна на корозију СИЦ премаза спречава да се изворни гасови (нм. ТМГА, тмал, нх "реагују са подлогом током процеса МОЦВД-а и смањује контаминацију честица.

Карактеристике: Његове ниске карактеристике адсорпције смањују остатке за одлагање, побољшати принос ГАН-а, сиц епитаксија.

(3) Отпорност на високу температуру, отпорност на корозију, продужавајући радни век опреме

Висока температура (> 1000 ° Ц) и корозивни гасови (нпр. Нх₃, х₂) користе се у процесу МОЦВД-а. СИЦ премази су ефикасни у одупирању хемијским ерозији и смањењу трошкова одржавања опреме.

Карактеристике: Због свог ниског коефицијента топлотне експанзије (4,5 × 10)^-6K^-1), СИЦ одржава димензионалну стабилност и избегава изобличење у термичким бициклистичким окружењима.

Кристална структура филма ЦВД ЦОАТИНГ:

Основна физичка својства ЦВД СИЦ премаза

СИЦ пресвучен сателит ВЕТЕКСЕМЕМИНА за продавницу производа МОЦВД: