Оксидациона и дифузијска пећ

Оксидационе и дифузијске пећи користе се у разним областима као што су полуводички уређаји, дискретни уређаји, оптоелектронски уређаји, електронски уређаји за напајање, соларне ћелије и интегрисани круг великих размера. Они се користе за процесе, укључујући дифузију, оксидацију, гоњење, легура и синтеровање вафера.

Семицондуцтор Ветек је водећи произвођач специјализован за производњу графита високог чистоће, силицијум карбида и кварцних компоненти у оксидацији и дифузијским пећима. Посвећени смо да пружимо висококвалитетне компоненте пећи за полуводич и фотонапонске индустрије и налазе се на челу технологије површинских премаза, као што је ЦВД-СИЦ, ЦВД-ТАЦ, пирокарбон итд.

Предности компоненти Ветек Семицондуцтор Силицон Царбиде:

● Отпорност на високу температуру (до 1600 ℃)

● Одлична топлотна проводљивост и топлотна стабилност

● Добра хемијска отпорност на корозију

● Низак коефицијент топлотне експанзије

● Велика снага и тврдоћа

● Дуго радни век

У опремама за оксидацију и дифузију, због присуства високих температура и корозивних гасова, многе компоненте захтевају употребу материјала са високим температурама и корозијом, међу којима је силицијум карбид (СИЦ) обично коришћен избор. Следеће су уобичајене компоненте силицијума карбида пронађене у фомисидационим пећима и дифузијским пећима:

● Вафер Брод

Брод са силицијум карбидом је посуда која се користи за ношење силицијумског трупа, који могу да издрже високе температуре и неће реаговати са силицијумним вафлима.

● Цев пећи

Цев пећи је основна компонента дифузијске пећи, која се користи за смештај силицијумског трупа и контролише реакционо окружење. Цеви за заштиту од силицијум карбида имају одличну перформансе високотемпорт-а и корозије.

● Балфле плоча

Користи се за регулисање протока ваздуха и дистрибуције температуре унутар пећи

● Заштитна цев термоелемена

Користи се за заштиту термо-уређаја за мерење температуре из директног контакта са корозивним гасовима.

● Падле за конзоле

Силицијум карбида кантила су отпорни на високу температуру и корозију и користе се за превоз силиконских чамца или кварцних бродова који носе силицијумске вафере у цеви дифузијске пећи.

● Ињектор гаса

Користи се за увођење реакционог гаса у пећ, то је потребно отпорно на високу температуру и корозију.

● Носач брода

Носач јелих-карбидног магарца користи се за решавање и подржавање силиконских вафера, који имају предности као што су висока чврстоћа, отпорност на корозију и добру структурну стабилност.

● Врата пећи

СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ НОАТИ ИЛИ КОМПОНЕНТИ МОГУ се могу користити и на унутрашњој страни врата пећи.

● Грејни елемент

Грејни елементи силицијума гријање погодне су за високе температуре, велике снаге и могу брзо да повећају температуре на преко 1000 ℃.

● Сиц линер

Користи се за заштиту унутрашњег зида цеви за пећ, може помоћи у смањењу губитка топлотне енергије и издржати оштре окружења, као што су висока температура и висок притисак.

View as

Брод са керамиком од силицијума карбида

Семицондуктор Ветек Специјализовано је за пружање висококвалитетних носача вафла, стабљика и прилагођених носача од лима у вертикалној / колони и хоризонталне конфигурације како би се испунили различити захтеви за процесе полуводича. Као водећи произвођач и добављач филмова овлаживача силицијум карбида, наша чамца од силицијумског карбида фаворизира европска и америчка тржишта за њихову високу економичност и одличан квалитет и широко се користе у напредним поступним процесима производње полуводича. Семицондуктор Ветекузе је посвећено успостављању дугорочних и стабилних кооперативних односа са глобалним купцима, а посебно нада да ће постати ваш поуздан партнер за процес полуводича у Кини.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Силицијум карбида (Сиц) Цантилевер весло

Улога конзолне лопатице од силицијум карбида (СиЦ) у индустрији полупроводника је да подржава и транспортује плочице. У високотемпературним процесима као што су дифузија и оксидација, СиЦ конзолно весло може стабилно да носи чамце и плочице без деформација или оштећења услед високе температуре, обезбеђујући несметан напредак процеса. Уједначавање дифузије, оксидације и других процеса је кључно за побољшање конзистенције и приноса обраде вафла. ВеТек Семицондуцтор користи напредну технологију за израду СиЦ конзолне лопатице са силицијум карбидом високе чистоће како би осигурао да плочице неће бити контаминиране. ВеТек Семицондуцтор се радује дугорочној сарадњи са вама на производима Цантилевер Паддле од силицијум карбида (СиЦ).

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Кварцни лош

Семицондуктор Ветека је водећи кварцни трупни добављач и произвођач у Кини. Кварцни распели које производимо углавном се користе у полуводичкој и фотонапонским пољима. Имају својства чистоће и отпорност на високу температуру. А наш кварцни лонац за полуводичу подржавају производне процесе повлачења силицијумског штапа, утовара и истовара полисиликонских сировина у производном процесу производње семицондуцтор силицијума, а кључни су потрошни материјал за производњу силицијума. Семицондуктор Ветек је радује се вашем дугорочном партнеру у Кини.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Носач плочице од силицијум карбида

Као професионални добављач превозника силицијумског карбида у Кини, носач ВЕТЕК Полуцондуцтор Сиц Вафер је алат посебно који се користи за руковање и обрађивање полуводичких вафера, који игра незамјењујућу улогу у поступку полуводичке вафла. Добродошли на ваше даље консултације.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Силиконско постоље

Ветек Семицондуцтор Силицон Педестал је кључна компонента у дифузији полуводича и оксидационих процеса. Као наменска платформа за ношење силицијумних чамца у високим температурама, силиконски постопис има много јединствених предности, укључујући побољшану температуру уједначеност, оптимизовани квалитет резета и побољшане перформансе полуводичких уређаја. За више информација о производу слободно нас контактирајте.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Прстен за бртвљење сиц керамиком

Као фабрика великог обима и добављач прстенастих производа за бртвљење сиц керамичким заптивачем у Кини, ВЕТЕК полуводички прстен за бртвљење СИЦ има широк спектар апликација у индустријском пољу због своје одличне топлотне проводљивости, изванредне хемијске и корозијске отпорности и високе снаге и чврстоће и крутости. Добродошли на ваше даље упите.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Као професионалац Оксидациона и дифузијска пећ произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Оксидациона и дифузијска пећ направљене у Кини, можете нас оставити порука.

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон
+86-18069220752
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
anny@veteksemi.com
Адреса
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина

Веб Мену

Претрага производа

Језик

Изађи из менија

Оксидациона и дифузијска пећ

Предности компоненти Ветек Семицондуцтор Силицон Царбиде:

Брод са керамиком од силицијума карбида

Силицијум карбида (Сиц) Цантилевер весло

Кварцни лош

Носач плочице од силицијум карбида

Силиконско постоље

Прстен за бртвљење сиц керамиком

Пошаљи упит

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон

Фак

Е-маил

Адреса