Оксидациона и дифузијска пећ

● Отпорност на високу температуру (до 1600 ℃)

● Одлична топлотна проводљивост и топлотна стабилност

● Добра хемијска отпорност на корозију

● Низак коефицијент топлотне експанзије

● Велика снага и тврдоћа

● Дуго радни век

У опремама за оксидацију и дифузију, због присуства високих температура и корозивних гасова, многе компоненте захтевају употребу материјала са високим температурама и корозијом, међу којима је силицијум карбид (СИЦ) обично коришћен избор. Следеће су уобичајене компоненте силицијума карбида пронађене у фомисидационим пећима и дифузијским пећима:

● Вафер Брод

Брод са силицијум карбидом је посуда која се користи за ношење силицијумског трупа, који могу да издрже високе температуре и неће реаговати са силицијумним вафлима.

● Цев пећи

Цев пећи је основна компонента дифузијске пећи, која се користи за смештај силицијумског трупа и контролише реакционо окружење. Цеви за заштиту од силицијум карбида имају одличну перформансе високотемпорт-а и корозије.

● Балфле плоча

Користи се за регулисање протока ваздуха и дистрибуције температуре унутар пећи

● Заштитна цев термоелемена

Користи се за заштиту термо-уређаја за мерење температуре из директног контакта са корозивним гасовима.

● Падле за конзоле

Силицијум карбида кантила су отпорни на високу температуру и корозију и користе се за превоз силиконских чамца или кварцних бродова који носе силицијумске вафере у цеви дифузијске пећи.

● Ињектор гаса

Користи се за увођење реакционог гаса у пећ, то је потребно отпорно на високу температуру и корозију.

● Носач брода

Носач јелих-карбидног магарца користи се за решавање и подржавање силиконских вафера, који имају предности као што су висока чврстоћа, отпорност на корозију и добру структурну стабилност.

● Врата пећи

СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ НОАТИ ИЛИ КОМПОНЕНТИ МОГУ се могу користити и на унутрашњој страни врата пећи.

● Грејни елемент

Грејни елементи силицијума гријање погодне су за високе температуре, велике снаге и могу брзо да повећају температуре на преко 1000 ℃.

● Сиц линер

Користи се за заштиту унутрашњег зида цеви за пећ, може помоћи у смањењу губитка топлотне енергије и издржати оштре окружења, као што су висока температура и висок притисак.