Носач плочица за ВЕЕЦО МОЦВД (ЛЕД Епитакси)

Карактеристике производа:

1. Графитна база високе чистоће са густим ЦВД СиЦ слојем
2. Добра термичка униформност за стабилну ЛЕД епитаксију
3. Отпоран на НХ₃, ХЦл и друге корозивне гасове који се користе у процесу
4. Ниско одвајање честица и дуг радни век
5. Дизајн џепова може се прилагодити различитим величинама плочица и платформама реактора
6. Добро ради за дуготрајан МОЦВД рад на високим температурама

Пријаве:
Ови носачи плочица се широко користе у ЛЕД и сложеној полупроводничкој епитаксији, укључујући:

• ГаН ЛЕД епитаксија
• Плаво-зелена ЛЕД епитаксија
• Дубоки УВ ЛЕД раст
• ГаН епитаксија на бази Си
• Општа производња сложених полупроводника

Прилагођена решења за носаче одговарају вишеструким ЛЕД МОЦВД платформама, као што су:

• ВЕЕЦО К465и
• ВЕЕЦО К700
• ВЕЕЦО К868
• Аиктрон Г4/Г5
• А7/Унимак

Техничке предности:

1. ЦВД СиЦ премазтехнологија која вам даје добру густину и чистоћу
2. Варијација дебљине премаза унутар ±10 μм – помаже да термичке перформансе остану стабилне
3. ЦНЦ обрада до 3 μм прецизности за добро пристајање плочице и стабилност ротације
4. Премаз се добро држи и отпоран је на пуцање након поновљених циклуса МОЦВД при високим температурама
5. Без проблема подноси НХ₃, ХЦл и друга оштра окружења епитаксије
6. Ниско стварање честица и чиста површина за подршку високог приносаЛЕД епитаксија
7. Може премазати велике или прилагођене величине за различите реакторске платформе и распореде плочица
8. Дуго искуство саприлагођени делови од графита и СиЦ-аза ЛЕД и сложену полупроводничку епитаксију

ФАК:
1. Шта ради носач за плочицеМОЦВДЛЕД епитаксија?

О: Држи и ротира плочице унутар МОЦВД реактора и помаже у одржавању стабилне температуре током епитаксијалног раста.

2. Зашто користити графитне плочице обложене СиЦ-ом за МОЦВД?

О: ТхеЦВД СиЦ премаздаје бољу отпорност на корозију, термичку стабилност и издржљивост. Такође помаже у смањењу контаминације честицама у епитаксији на високим температурама.

3. Да ли Ветек Семицондуцтор производи носаче плочица по мери?
О: Да. Можемо да дизајнирамо прилагођене носаче на основу ваше платформе реактора, величине плочице, изгледа џепа и других потреба процеса.