Цолектор за колекцију Сиц Цоалинг

Семицондуктор Ветек је произвођач посвећен пружању високог квалитетаЦВД ТАЦ премази ЦВД СИЦ Цоалинг Цоллецтор дно и уско сарађује са Актрон опремом како би задовољили потребе наших купаца. Без обзира да ли у оптимизацији процеса или нови развој производа спремни смо да вам пружимо техничку подршку и одговори на било каква питања која имате.

Основна функција производа

Гаранција за стабилност процеса

Контрола градијента температуре: ±1.5℃ / цм@1200℃

Оптимизација поља протока: Дизајн специјалног канала чини реакциону униформу гаса до 92,6%

Механизам заштите опреме

Двострука заштита:

Термални ударни пуфер: Издржати 10 ℃ / с Брза промена температуре

Пресретање честица: Заостава> Честице седимената од 0,3 μм

У области врхунске технологије

Цјелокупна контрола квалитета процеса

Систем за претраживање производње

Извор сировина: Токаи / Тоио Графит из Јапана, СГЛ Графит из Немачке

Дигитално праћење двоструких двострука: Свака компонента се подудара са независном базом података параметра процеса

Сценариј апликације:

Производња полуводича треће генерације

Сценариј: 6-инчни раст суштине СИЦ (контрола дебљине 100-150 уМ)

Компатибилни модел: Аиктрон Г5 ВВ / ЦРИУС ИИ

Коришћењем Аиктрон Сиц Цоллецтор Цоллецтор Топ Центра и СИЦ-а премазани колекционар, могу се постићи термичко управљање и хемијска заштита у поступцима производње полуводича, окружење за раст филма може се оптимизовати, а квалитет и доследност филма могу се побољшати. Комбинација ових компоненти у Актронској опреми осигурава стабилне услове процеса и ефикасну производњу полуводича.

СЕМ подаци о ЦВД Сиц филму