Плазма јеткање фокусирања

У области производње вафла, фокусно прстен за фокус ВЕТЕК-а игра кључну улогу. То није само једноставна компонента, већ игра виталну улогу у процесу јеткања у плазми. Прво, прстен за фокусирање плазме ЕТЦХИГ је дизајниран да осигура да се ваффе чврсто држи у жељеном положају, чиме се обезбеђује тачност и стабилност процеса јеткања. Држећи се реф на месту, прстен за фокусирање ефикасно одржава униформност густине у плазми, што је неопходно за успехпроцес јеткања.

Поред тога, ФОЦУСИНГ ПИНГ такође игра важну улогу у спречавању бочног контаминације вафла. Квалитет и чистоће вафла су од пресудног значаја за производњу чипова, па се морају предузети све потребне мере како би се осигурало да вафли остану чисте кроз процес јеткања. Прстен фокусирања ефикасно спречава да се спољне нечистоће и контаминирају да уђу у бочне стране површине вафле, чиме се обезбеђују квалитет и перформансе коначног производа.

У прошлости,фокусирање прстеновауглавном су направљени од кварца и силицијума. Међутим, уз пораст сувог јеткања у напредној манирању вафла, потражња за фокусирањем прстенова од силицијума карбида (СИЦ) расте. У поређењу са чистим прстеновима силицијума, СИЦ прстенови су издржљивији и имају дужи радни век, смањујући тако трошкове производње. Силиконски прстенови морају бити замењени сваких 10 до 12 дана, док се СИЦ звони замењују сваких 15 до 20 дана. Тренутно су неке велике компаније попут Самсунг-а проучавају употребу керамике борбене карбидне керамике (Б4Ц) уместо СИЦ-а. Б4Ц има већу тврдоћу, тако да јединица дуже траје дуже.

У машини за јеткање плазме потребно је инсталација прстена за фокус неопходна за плазму површине подлоге под подлогом у посуди за лечење. Прстен за фокусирање окружује подлогу са првом регијом на унутрашњој страни своје површине која има малу просечну храпавост за спречавање реакционих производа који се генеришу током јеткања да буду заробљени и депоновани. 

У исто време, други регион изван прве регије има велику просечну храпавост површине да би охрабрили производе реакције генерисане током процеса јеткања који ће се заробити и депоновати. Граница између прве регије и другог региона је део где је количина јеткања релативно значајна, опремљена прстеном фокусирања у уређају за јеткање у плазми и јеткање плазме се изводи на подлогу.

Продавнице производа ВЕТЕКСЕМЕМИЦОН: