Сусцептор за брзо термичко жарење

Семицондуцтор Ветек, Брзи топлотни жарчаништво је високог квалитета и дуг век, добродошлицу да нас упите.

Брзо топлотни аннел (РТА) је пресудно подскуп брзог термичке обраде која се користи у производњи полуводича. То укључује грејање појединих вафла да измене своје електричне својства кроз различите циљане топлотне третмане. Процес РТА омогућава активирање допаната, измене сучеља подлога за филмске или фолије или филмске фолије, модификације одраслих филмских држава, поправке ионске имплантацијске оштећења, кретање допанта и вожње и вожње допаната филмова или у подлогу вафла.

ВЕТЕК Полуцондуцтор Производ, Брзо суцептор топлотног жарења, игра виталну улогу у РТП процесу. Конструисано је коришћењем графитног материјала високе чистоће са заштитним премазом инертног силицијумског карбида (СИЦ). Силиконски подложни подложни систем може да подстакне температуре до 1100 ° Ц, обезбеђујући поуздане перформансе чак и под екстремним условима. СИЦ премаз пружа одличну заштиту од цурења гаса и проливања честица, осигуравајући дуговечност производа.

Да би се одржала прецизна контрола температуре, чип је инкапсулиран између две компоненте високих чистоћих графита обложених СИЦ-ом. Тачна мерења температуре могу се добити интегрисаним сензорима високог температуре или термопорове у контакту са супстратом.

Основна физичка својства ЦВД СиЦ превлаке:

ВеТек Семицондуцтор Продуцтион Схоп:

Преглед ланца епитаксије Епитакти Цхип Епитактија: