Индустри Невс

Порозни тантал карбид компаније ВеТек Семицондуцтор, као нова генерација материјала за раст кристала СиЦ, има многа одлична својства производа и игра кључну улогу у разним технологијама обраде полупроводника.

Принцип рада епитаксијалне пећи је таложење полупроводничких материјала на подлогу под високом температуром и високим притиском. Епитаксијални раст силицијума је раст слоја кристала са истом оријентацијом кристала као супстрат и различите дебљине на силицијумској монокристалној подлози са одређеном кристалном оријентацијом. Овај чланак углавном представља методе епитаксијалног раста силицијума: епитаксија у парној фази и епитаксија у течној фази.

Хемијска таложење паре (ЦВД) у полуводичкој производњи се користи за депоновање танких филмских материјала у комори, укључујући СИО2, СИН, итд., И најчешће кориштене врсте укључују Пецвд и ЛПЦВД. Подешавањем температуре, притиска и реакционог гаса, ЦВД постиже високу чистоћу, једнообразност и добро прекривање филма како би задовољили различите захтеве процеса.

Овај чланак углавном описује широке могућности примене керамике силицијум карбида. Такође се фокусира на анализу узрока синтеровања пукотина у керамици силицијум карбида и одговарајућим решењима.

Технологија јеткања у полуводичкој производњи често сусреће проблеме као што су ефекат учитавања, ефекат микро-утора и ефекат пуњења, који утичу на квалитет производа. Решења за побољшање укључују оптимизацију густине у плазми, подешавање састава реакционог гаса, побољшање ефикасности вакуумског система, дизајнирање разумног распореда литографије и одабир одговарајућих материјала за маскирање и процесне услове.