Индустри Невс

Овај чланак углавном описује широке могућности примене керамике силицијум карбида. Такође се фокусира на анализу узрока синтеровања пукотина у керамици силицијум карбида и одговарајућим решењима.

Технологија јеткања у полуводичкој производњи често сусреће проблеме као што су ефекат учитавања, ефекат микро-утора и ефекат пуњења, који утичу на квалитет производа. Решења за побољшање укључују оптимизацију густине у плазми, подешавање састава реакционог гаса, побољшање ефикасности вакуумског система, дизајнирање разумног распореда литографије и одабир одговарајућих материјала за маскирање и процесне услове.

Вруће пресовање синтеровања је главна метода за припрему високих перформанси СИЦ керамике. Процес врућег притискања синтеровања укључује: одабир прашкастих праха високог чистоће, притиском и пресликавањем под високим температурама и високим притиском, а затим синтеровање. Сиц керамика припремљена овим методом имају предности велике чистоће и велике густине и широко се користе у брушеним дисковима и опреми за топлотну обраду за прераду вафле.

Кључни расти силицијумског карбида (сиц) укључују ПВТ, ТССГ и ХТЦВД, а сваки са различитим предностима и изазовима. Термички теренски теренски материјали на бази угљеника попут изолационих система, распећа, ТАЦ премаза и порозних графита побољшавају раст кристала пружајући стабилност, топлотну проводљивост и чистоћу, неопходне за суштинске за СИЦ-ове прецизне израде и примену.

СиЦ има високу тврдоћу, топлотну проводљивост и отпорност на корозију, што га чини идеалним за производњу полупроводника. ЦВД СиЦ премаз се ствара хемијским таложењем паре, обезбеђујући високу топлотну проводљивост, хемијску стабилност и одговарајућу константу решетке за епитаксијални раст. Његова ниска термичка експанзија и висока тврдоћа обезбеђују издржљивост и прецизност, што га чини неопходним у апликацијама као што су носачи плочица, прстенови за предгревање и још много тога. ВеТек Семицондуцтор је специјализован за прилагођене СиЦ премазе за различите потребе индустрије.