Графитни чамац за ПЕЦВД

Апликација: Ветексемицон графитни чамац за ПЕЦВД је кључна компонента у процесу хемијског таложења паре који је појачан плазмом. Дизајниран је специјално за наношење висококвалитетног силицијум нитрида, силицијум оксида и других танких филмова на силицијумске плочице, сложене полупроводнике и подлоге за дисплеј. Његове перформансе директно одређују униформност филма, стабилност процеса и трошкове производње.

Услуге које се могу пружити: анализа сценарија апликације корисника, одговарајући материјали, решавање техничких проблема.

Профил компаније：Ветексемицон има 2 лабораторије, тим стручњака са 20 година искуства у материјалима, са могућностима истраживања и развоја, производње, тестирања и верификације.

Опште информације о производу

Услови пословања производа

Главна поља примене

Ветексемицон Грапхите брод за ПЕЦВД основне предности

1. Подлоге високе чистоће, које контролишу загађење из извора

Инсистирамо на коришћењу изостатички пресованог графита високе чистоће са стабилном чистоћом од преко 99,995% као основног материјала како бисмо осигурали да неће исталожити металне нечистоће чак и у непрекидном радном окружењу од 1600°Ц. Ови строги захтеви за материјалом могу директно да избегну деградацију перформанси плочице узроковану контаминацијом носача, пружајући најосновнију гаранцију за депоновање висококвалитетних филмова од силицијум нитрида или силицијум оксида.

2. Прецизно топлотно поље и конструкцијски дизајн како би се осигурала униформност процеса

Кроз опсежну симулацију флуида и податке мерења процеса, оптимизовали смо угао прореза чамца, дубину утора за вођење и путању протока гаса. Ово детаљно разматрање структуре омогућава равномерну дистрибуцију реактивних гасова између плочица. Стварна мерења показују да се при пуном оптерећењу, одступање уједначености дебљине филма између плочица у истој серији може стабилно контролисати унутар ±1,5%, што значајно побољшава принос производа.

3. Прилагођена решења премаза за решавање специфичне корозије процеса

Да бисмо задовољили различита окружења процесних гасова различитих купаца, нудимо две зреле опције премаза: пиролитички угљеник и силицијум карбид. Ако углавном депонујете силицијум нитрид и користите чишћење водоником, густи пиролитички угљенични премаз може пружити одличну отпорност на ерозију водоничне плазме. Ако ваш процес укључује гасове за чишћење који садрже флуор, онда је премаз од силицијум карбида високе тврдоће бољи избор. Може продужити радни век графитног чамца у високо корозивним срединама на више од три пута у односу на обичне непревучене производе.

4. Одлична стабилност термичког удара, прилагодљива честим температурним циклусима

Захваљујући нашој јединственој графитној формули и унутрашњем дизајну ребра за ојачање, наши графитни чамци могу да издрже поновљене брзе ударе хлађења и грејања ПЕЦВД процеса. У ригорозним лабораторијским тестовима, након 500 брзих термичких циклуса од собне температуре до 800°Ц, стопа задржавања чврстоће на савијање чамца је и даље премашила 90%, ефикасно избегавајући пуцање изазвано топлотним стресом и осигуравајући континуитет и сигурност производње.

5. Потврда верификације еколошког ланца

Ветексемицон Грапхите чамац за ПЕЦВД' еколошку верификацију ланца покрива сировине до производње, прошао је међународни стандард сертификацију, и има низ патентираних технологија како би се осигурала његова поузданост и одрживост у областима полупроводника и нове енергије.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку да бисте истражили како Ветексемицон може побољшати ефикасност вашег процеса.