ЕПИ Суппортер

Семицондуцтор Ветек је професионални лидер Кина ЕПИ предузет, АЛД Планетарни ТУГОР и ТАЦ пресвучени графитни произвођач. и Наша ЕПИ подршка је важна компонентаЕпитаксијални растУ процесу производње полуводича. Његова главна функција је да подрже и загрева реф. Тако да се висококвалитетни епитаксијални слој може уједначити на површини од линије.

ЕПИ суцептори за ветек ЕПИ суцепци су обично направљени од графита високе чистоће и пресвуже слојем силицијум карбида (СИЦ).Овај дизајн има следеће кључне предности:

● Стабилност високог температуре: ЕПИ суцептор може остати стабилан у окружењу високог температура, осигуравајући уједначен раст епитаксијалног слоја.

● Отпорност на корозију: СИЦ премаз има одличну отпорност на корозију и може се одупријети ерозији хемијских гасова, продужавајући радни век пладња.

● Топлотна проводљивост: Висока топлотна проводљивост СИЦ материјала осигурава равномерну расподелу температуре током грејања, на тај начин побољшава квалитет епитаксијалног слоја.

● Коефицијент термичке експанзије: Коефицијент топлотног експанзије СИЦ-а сличан је графитном стању, избегавајући проблем превлачења проливања због топлотног ширења и контракције.

Основна физичка својстваЦВД СИЦ премаз:

ЦВД СИЦ ЦОАТИНГ ПРОИЗВОДЊА СХОПЕ:

Преглед ланца епитаксије Цхип Епитакти Епитак: