ЦВД СиЦ обложен графитни сусцептор за носач плочице

1. Предности производа

• Материјал високе чистоће:Графитни материјал за полупроводнике и густа структура СиЦ превлаке минимизирају ризике од контаминације и побољшавају поузданост ЦВД СиЦ обложеног графитног пријемника.
• Одлична термичка униформност:Оптимизована графитна структура и СиЦ премаз обезбеђују стабилан пренос топлоте и уједначену контролу температуре плочице.
• Супериорна хемијска отпорност:Густи СиЦ премаз нуди јаку отпорност на процесне гасове и корозивна окружења.
• Дуг радни век:Висока тврдоћа и отпорност на хабање побољшавају издржљивост у условима епитаксије на високим температурама.
• Ниска генерација честица:Густа ЦВД СиЦ површина смањује ослобађање честица и побољшава поузданост процеса плочице.
• Могућност прилагођеног дизајна:Доступан у различитим величинама, структурама и конфигурацијама у складу са захтевима опреме.

2. Техничке спецификације

3. Пријаве

• СиЦ процес епитаксије:Графитни сусцептор се користи као носач плочице у опреми за епитаксију СиЦ, подржавајући СиЦ супстрате током епитаксијалног раста на високој температури.
• Процес силицијумске епитаксије:Примењује се у силицијумским епитаксијалним реакторима за подржавање плочица и одржавање стабилних термичких услова.
• МОЦВД епитаксија:ВЕТЕК графитни пријемници су погодни за МОЦВД, ЛЕД епитаксију, ГаН епитаксију, силицијумску епитаксију и друге процесе производње полупроводника који захтевају одличну термичку униформност и хемијску стабилност.
• Опрема за производњу полупроводника:Компатибилан са различитим платформама за епитаксију, укључујући ЛПЕ хоризонталне пећи, Аиктрон, НуФларе и сродну полупроводничку опрему.

4. Зашто изабрати ВЕТЕК?

ВЕТЕК пружа прилагођена решења за графитне сусцепторе обложена ЦВД СиЦ која интегришу пречишћавање графита, прецизну машинску обраду, ЦВД премазивање и могућности инспекције. Наши производи од графита за полупроводнике имају високу чистоћу, уједначену дебљину премаза, одличне термичке перформансе и дуг радни век за захтевне апликације носача плочица.