Водич за превлачење ТАЦ-а

Функција водича ТАЦ премате прстенова:

Прецизни контролу протока гаса: ТхеТАЦ водич за превлачењеје стратешки позициониран у систему ињекције гасаМоцвд Реацтор. Његова основна функција је усмеравање протока прекурсорских гасова и осигурати њихову униформну дистрибуцију преко површине подлоге. Ова прецизна контрола динамике протока гаса је од суштинског значаја за постизање равномерних раста слоја епитаксија и жељених својстава материјала.

Топлотно управљање: Водич за превлачење ТАЦ-а заплете често дјелују на повишеним температурама због њихове близине загрејаног суцептора и подлоге. ТАЦ-ова одлична топлотна проводљивост помаже ефикасно расипање топлоте, спречавајући локализовано прегревање и одржавање стабилног температурног профила у реакционој зони.

Предности ТАЦ-а у Моцвду:

Екстремна отпорност на температуру: ТАЦ се може похвалити једном од највиших топљења међу свим материјалима, већим од 3800 ° Ц.

Изузетна хемијска инертност: ТАЦ показује изузетну отпорност на корозију и хемијски напад из реактивних гасова прекурсора који се користе у МОЦВД-у, као што су амонијак, силански и разни метал-органска једињења.

Физичка својстваПревлака на тац:

Предности за перформансе МОЦВД-а:

Употреба ВИЕТЕК полуводичког водича за превлачење у облику моцвд опреме значајно доприноси:

Повећана продукта опреме: Издржљивост и продужени животни век Прстена за превлачење ТАЦ-а смањује потребу за честим замјенама, минимизирањем застоја за одржавање и максимизирање оперативне ефикасности МОЦВД система.

Појачана стабилност процеса: Топлотна стабилност и хемијска инертност ТАЦ-а доприносе стабилнијим и контролираним реакционим окружењима у оквиру МОЦВД коморе, минимизирајући варијације процеса и побољшање обновљивости.

Побољшана униформност епитакксија: Прецизан проток протока гаса олакшан са ТАЦ-овим водичем за превлачење осигурава равномерну дистрибуцију прекурсора, што резултира врло униформомраст слоја епитаксијаса доследном дебљином и композицијом.

Танталум Царбиде (ТАЦ) премазна микроскопском пресек: