Прозирни кварцни штит и затварач високе чистоће за МОЦВД

1. Техничке спецификације

Пружамо прецизну машинску обраду на основу ваших техничких цртежа како бисмо осигурали савршено уклапање са вашим специфичним моделима опреме.

2. Основна поља примене

● МОЦВД заштита процеса: Служи као суштински унутрашњи штит / облоге за заштиту реакционог окружења.

● Семицондуцтор Епитаки: Користи се као затварачи високе прецизности за стабилизацију протока и температуре током раста танког филма.

● Производња полупроводника са широким појасом: Компатибилан са окружењима високе потражње за ГаН и другим напредним материјалима.

3. Зашто одабрати ВЕТЕК Куартз Солутионс?

● Супериорно управљање термичким зрачењем: Наш млечно бели кварц садржи високу густину микро мехурића који ефикасно распршују и блокирају топлотно зрачење високе температуре (>1000°Ц). Он апсорбује видљиву и блиску инфрацрвену светлост из грејних елемената и претвара је у далеко инфрацрвено зрачење, обезбеђујући веома равномерно грејање.
● Контрола контаминације и лако одржавање: Као жртвована или заменљива унутрашња облога, кварцни штит одржава реакциону комору чистом спречавајући таложење нуспроизвода на скупим зидовима коморе и грејачима. Ови делови се могу регенерисати мокрим чишћењем (као што су СПМ+ДХФ раствори) или лако заменити да би се обезбедио висок принос облата.
● Екстремна хемијска отпорност: ВЕТЕК кварц је пројектован да издржи честе термичке циклусе и отпоран на корозију од металних органских материја (као што је ТМГа) и хидрида (као што је АсХ₃).
● Прецизна контрола процеса: Наше кварцне капке одржавају високу димензијску стабилност под инфрацрвеним или филаментним грејањем. Њихова ниска термичка инерција омогућава брзи механички одговор, омогућавајући прецизну контролу раста на "атомском нивоу" и спречавајући унакрсну контаминацију током вишеструког или вишепроцесног пребацивања.
● Исплатива алтернатива: За пројекте са строгим буџетским захтевима, наши кварцни производи пружају поуздану улазну тачку у поређењу са обложеним графитом, нудећи суштинску заштиту и функционалност за МОЦВД системе.