ЦВД СиЦ обложени чамац високе чистоће

1. Основни фактори учинка?

• Чистоћа на нивоу 7Н:Одржавамо стандард чистоће од 99,99999% (7Н). О томе се не може преговарати како би се спречило да загађивачи метала мигрирају у плочицу током дугих корака убацивања или оксидације.
• ЦВД печат (50–300 μм):Не "фарбамо" само површину. Наш ЦВД СиЦ слој од 50–300 μм ствара потпуно заптивање подлоге. Ово елиминише порозност, што значи да чамац неће заробити хемикалије или избацити честице чак ни након вишекратног излагања реактивним гасовима или агресивног СПМ/ДХФ чишћења.
• Термичка крутост:Природна ниска термичка експанзија силицијум карбида држи ове чамце равно. Неће се савијати или увијати током брзог термичког жарења (РТА), осигуравајући да рука робота увек удари у прави слот без заглављивања.
• Одрживи приноси:Површина је пројектована за ниску адхезију нуспроизвода. Мање накупљања значи мање честица које ударају у ваше плочице и више трчања између циклуса мокрог чишћења.
• Прилагођена геометрија:Свака фабрика има своје подешавање. Обрађујемо их према вашим специфичним цртежима нагиба и утора, било да користите хоризонталну пећ или вертикалну аутоматизовану линију од 300 мм.

2. Компатибилност процеса

• Атмосфера:Отпоран на ТМГа, АсХ₃ и окружења високе концентрације О₂.
• Термални опсег:Стабилан дуготрајан рад до 1400°Ц.
• Материјали:Посебно пројектован за оксидационе и дифузионе процесе Логиц, Повер и Аналог ваферс.