ПЗТ пиезоелектричне плочице (ПЗТ на Си/СОИ)

1. Техничка архитектура

Наше плочице имају софистицирану вишеслојну структуру гомиле дизајнирану да осигура оптималну адхезију, проводљивост и пиезоелектрични одговор током сложене МЕМС обраде:

 ●Горња електрода (слој кључа): Пт (платина).

● Пиезо слој (основни слој): ПЗТ.

● Интермедиате Лаиерс: Укључује пуферски слој, доњу електроду и адхезиони слој ради оптимизације оријентације зрна и стабилности структуре.

● Супстрат: Компатибилан са Си или СОИ плочицама.

2. Осигурање квалитета и анализа микроструктуре

Осигуравамо високу поузданост кроз ригорозну техничку карактеризацију:

 ●СЕМ анализа: Слике скенирајуће електронске микроскопије (СЕМ) откривају густу морфологију површине без пукотина са уједначеном дистрибуцијом величине зрна, идеално за високопоуздане МЕМС апликације.

 ●КСРД Цхарацтеризатион: Обрасци дифракције рендгенских зрака (КСРД) потврђују формирање чисте фазе перовскита са јаком (100) преферираном оријентацијом, обезбеђујући максималне коефицијенте пиезоелектричних перформанси.

3. Техничке спецификације (карактеристике)

4. Основне апликације

 ● Пиезоелектрични микромашински ултразвучни претварачи (пМУТ): Високофреквентни минијатурни низови за сензоре отиска прста, препознавање покрета и аутомобилски ултразвучни радар.

 ● Комуникација: Кључ за производњу ФБАР или САВ филтера у 5Г/6Г да би се постигао шири пропусни опсег и мањи губитак уметања.

 ● Акустични МЕМС: Пружа снажан пролазни одзив за МЕМС звучнике и побољшава однос сигнал-шум (СНР) за МЕМС микрофоне.

 ● Прецизна контрола течности: Вибрација велике брзине преко режима д31 за прецизну контролу запремине капљица у инкјет главама за штампање на нанолитрима.

 ● Медицина и лепота (микро-пумпање): Покреће медицинске небулизаторе или козметичке ултразвучне пумпе високе поузданости и компактне величине.

5. Услуге прилагођавања

Поред стандардног таложења на Си облатне, такође пружамо услуге наношења по мери:

 ●Прилагођавање филма и дебљине: Таложење посебних типова фолија и прилагођених дебљина према захтевима дизајна.

 ●ОЕМ Фоундри: Прихватање плочица које се испоручују од купаца за висококвалитетни пиезоелектрични раст танког филма.

 ●Подршка СОИ супстрата: Специјализовано таложење на СОИ плочице са следећим спецификацијама: