Чврсти филц високе чистоће

СиЦ епитаксијални раст је технологија за узгој висококвалитетних танких филмова силицијум карбида на површини супстрата. Овај процес је неопходан за производњу полупроводничких уређаја од силицијум карбида високих перформанси, као што су уређаји за напајање од силицијум карбида и РФ уређаји од силицијум карбида. У овом процесу, окружење за раст, укључујући температуру, проток гаса, притисак и друге параметре, треба строго контролисати како би се обезбедио раст висококвалитетних епитаксијалних слојева силицијум карбида високе чистоће са добрим електричним својствима. СиЦ Цотиг Халфмоон графитни делови су основна компонента СИЦ епитаксијалног раста, а крути филц високе чистоће углавном игра улогу очувања топлоте СиЦ Цоцоиг Халфмоон графитних делова.

Висока чистоћа крута осећај има добру топлотну проводљивост, што може равномерно дистрибуирати топлину извора грејања око СИЦ Цоаиг Полупхоон Грапхитни делови и има добар ефекат очувања топлоте. Током раста суштине, може да апсорбује топлоту и ослобађа га полако да би се избегло локално прегревање или прехлађивање, тако да се температурна разлика на површини супстрата силицијум карбида контролише у врло малом распону, а температура уједначеност може обично достићи ± 1 - 2 ℃, што је веома важно за узгој епитаксијалног слоја силиконских карбида са јединственом дебљином и доследним електричним својствима.

Неки корозивни гасови, као што су силан (СиХ4) и пропан (Ц3Х8), користе се као гасови извора реакције у епитаксијалном расту СиЦ. Крути филц високе чистоће има добру толеранцију на ове хемијске гасове и може да одржи свој структурни интегритет током епитаксијалног циклуса раста (који може трајати сатима или чак десетинама сати). А чистоћа крутог филца високе чистоће је изнад 99,99% и неће отпуштати супстанце које могу контаминирати епитаксијални слој у реакционо окружење, чиме се обезбеђује висока чистоћа епитаксијалног слоја силицијум карбида.

Одговарајућа густина може осигурати механичку чврстоћу и топлотну проводљивост крутог филца високе чистоће. Осигуравајући топлотну проводљивост, може минимизирати интерференцију спољашњих фактора на епитаксијални раст СиЦ.

У поређењу са традиционалним керамичким материјалима и металним материјалима, висока чистоћа графита крута осећај има бољу термичку проводљивост и хемијску стабилност и одлична је помоћна компонентна материјала за раст суштине СИЦ-а.

Као водећи добављач и фабрика чврстог филца високе чистоће у Кини, ВеТек Семицондуцтор пружа високо прилагођене производе, било да се ради о материјалима или величини производа, може се прилагодити за вас. Штавише, ВеТек Семицондуцтор је дуго посвећен пружању напредне технологије крутог филца високе чистоће и решења производа за индустрију полупроводника. Искрено се радујемо што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Ветек полуводичка висока чистоћа крута висећа производња производа: