ЦВД СИЦ ЦОАТИНГ ПРОТЕЦТОР

Позиционирање производа и основне функције:

ЦВД СИЦ заштитни заштитник је кључна компонента у ЛПЕ Силицон Царбиде Епитаксијална опрема, која се углавном користи за заштиту интерне структуре реакције и побољшања стабилности процеса. Њене основне функције укључују:

Заштита од корозије: превлачење силиконских карбида формиран поступком хемијског таложења паре (ЦВД) може се одупријети хемијској корозији хлор / флуор плазме и погодан је за оштре окружења, као што је опрема за оштре опреме;

Термичко управљање: Висока топлотна проводљивост силицијумског карбидног материјала може оптимизирати температуру у реакционом комору и побољшати квалитет епитаксијалног слоја;

Смањење загађења: Као компонента за облоге, она може спречити да се реакциони нуспроизводи директно контактирају Дом и продуже циклус одржавања опреме.

Техничке карактеристике и дизајн:

Структурни дизајн:

Обично се подели у горње и доње делове полу-месец, симетрично инсталиран око ладице да би формирали заштитну структуру у облику прстена;

Сарађујући са компонентама као што су пошиљкама и глава за гас за оптимизацију дистрибуције ваздуха и ефеката фокусирања у плазми.

Процес премаза:

ЦВД метода се користи за депоновање сечних премаза високих чистоћа, уз униформност дебљине филма у оквиру ± 5% и храпавости површине и ниже од РА0,5μм;

Типична дебљина премаза је 100-300 уМ, а може да издржи окружење високе температуре од 1600 ℃.

Сценари у апликацијама и предности перформанси:

Применљива опрема:

Углавном се користи за ЛПЕ-ов 6-инчни 8-инчни силицијум карбид епитаксија, подржавајући раст од хомоепитаксија СИЦ-а;

Погодно за Ектинску опрему, МОЦВД опрему и друге сценарије који захтевају високу отпорност на корозију.

Кључни показатељи:

Коефицијент термичке експанзије: 4.5 × 10⁻⁶ / к (подударање са графитним подлогом за смањење топлотног стреса);

Отпорност: 0,1-10Ω · ЦМ (захтеви за проводљивости састанка);

Живот услуга: 3-5 пута дужи од традиционалних кварцних / силицијума.

Техничке баријере и изазови

Овај производ треба да превазиђе потешкоће у процесу као што су контрола униформности премаза (као што је компензација дебљине ивице) и оптимизација сучеља за сучељење ивице (≥30МПА), а истовремено треба да се подударају са хигх-брзим ротацијама (1000РПМ) и потребама за градијент температуре ЛПЕ опреме.