Производи
ЦВД СиЦ Цоатинг Грапхите Партс Цлеанинг Сервице
  • ЦВД СиЦ Цоатинг Грапхите Партс Цлеанинг СервицеЦВД СиЦ Цоатинг Грапхите Партс Цлеанинг Сервице

ЦВД СиЦ Цоатинг Грапхите Партс Цлеанинг Сервице

ВЕТЕК Профессионал Сервице Цлеанинг фор ЦВД СиЦ Цоатед Грапхите Партс је специјализована техничка служба дизајнирана за Аиктрон / Веецо МОЦВД опрему и графитне компоненте које се користе у ГаН / АлН / АлГаН епитаксијалним процесима. Наш власнички процес чишћења темељно елиминише ефекат површинске меморије, обнавља стабилан проток гаса у реактору и стриктно штити ЦВД СиЦ премаз од 100 µм са апсолутном нултом губитком дебљине и нултим остатком метала.

1. Изазови са којима ћете се можда суочити

• АлН слој који се тешко уклања:Термичко чишћење на 1300°Ц још увек не може ефикасно нагризати преостали слој АлН.

• Понављајући ефекат памћења:Ефекат површинске меморије изазива нестабилан проток гаса у реактору, утичући на конзистентност процеса.

• Циклус чишћења Импацтс пропусна моћ:Обично је на сваких 16 циклуса процеса (4-5 пријемника) потребно спољашње чишћење.

• Забринутост због оштећења скупог премаза:Недостатак интерног искуства са хемијским чишћењем чини оператере неодлучним да покушају агресивно чишћење.

2. Наше решење – Дизајнирано за ГаН / АлН / АлГаН процесе

• Професионално чишћење:Прилагођени процес посебно развијен за ЦВД СиЦ обложене графитне делове. Није потребна хемијска формула од купца.

• Безбедност премаза:Строго штити ЦВД СиЦ премаз од 100 µм. Апсолутни нулти губитак дебљине након чишћења.

• Проверљиви резултати:Потпуни сертификат анализе (ЦОА) који покрива пет основних димензија. Подаци спремни за архивирање и ревизију квалитета.

3. Пет основних критеријума прихватања

Строго усклађен са критичним захтевима корисника епитаксије полупроводника:

1. Нулти губитак премаза– Дебљина СиЦ премаза се никада не смањује након чишћења (провера поређења дебљине пре и после).

2. Нема деформације површине– Равност и геометријска тачност се строго контролишу како би се осигурало да нема физичких деформација.

3. Елиминишите ефекат меморије– КСПС анализа за Ал/Га остатак потврђује темељно уклањање извора меморијског ефекта.

4. Нула металних остатака– ИЦП-МС тестирање за Фе, Цу, Ни и друге метале потврђује да нема заосталих металних нечистоћа.

5. Без сувишних честица– КИИИ тест честица плус верификација чистоће спречавају нестабилност протока гаса узроковану заосталим честицама.

4. Извештај о инспекцији испоруке & ЦОА

Свака серија се испоручује са потпуним подацима за верификацију у пет основних димензија:

Инспецтион Итем
Метод и сврха верификације
Честице и чистоћа
КИИИ тест честица + верификација чистоће – обезбедите да нема вишка честица
Нулти губитак СиЦ премаза
Пре/пост поређење дебљине – потврдити апсолутно без смањења ЦВД СиЦ премаза
Ал / Га Резидуал
КСПС верификација – потврдите да је меморијски ефекат потпуно елиминисан
Металне нечистоће
ИЦП-МС за Фе / Цу / Ни итд. – нула заосталих метала
Равност / Деформација
Провера геометријске тачности – гарантује да нема физичких деформација

5. Применљиви производи и позадина процеса

Параметри производа

Ставка
Спецификација
Врста услуге
Аиктрон / Веецо ЦВД СиЦ Цоатинг Грапхите Партс
Величина
6 инча / 8 инча и друге прилагођене величине
Подлога и премаз
Графитна база + 100 µм ЦВД СиЦ премаз
Материјали за раст
ГаН / АлН / АлГаН (типично: АлН ≈ 100 нм, ГаН ≈ 2 µм по расту)

Сервисни процес

1. Упит– Пошаљите фотографије/модел/количину делова на процену.

2. Цитат– Техничка процена и детаљан предлог чишћења са предрачуном.

3. Достава– Пошаљите делове до нас или уговорите услугу преузимања.

4. Чишћење– Професионално чишћење + потпуни вишедимензионални преглед.

5. Извештај– Издат извештај ЦОА и враћени очишћени делови.

6. Праћење– Праћење ефеката и стална техничка подршка.

6. Зашто одабрати ВЕТЕК сервис за чишћење?

ВЕТЕК комбинује дубоку експертизу у технологији ЦВД СиЦ премаза са специјализованим могућностима чишћења за високо вредне графитне пријемнике. Разумемо критичну важност интегритета премаза, контроле честица и чистоће процеса у ГаН/АлН епитаксији. Наша услуга је дизајнирана за купце који захтевају апсолутну безбедност за скупе ЦВД СиЦ премазе док у потпуности решавају меморијски ефекат и проблеме нестабилности протока гаса.

· Доступно пробно чишћење за верификацију малих серија

· Комплетан извештај ЦОА који се доставља уз сваку испоруку

· Нема ризика од оштећења премаза или нове контаминације

· Професионално · Безбедно · Проверљиво

Хот Тагс: Чишћење графита обложеног ЦВД СиЦ, услуга чишћења СиЦ премаза, уклањање меморијског ефекта, чишћење Аиктрон суцептора, Веецо чишћење графитних делова, ГаН АлН АлГаН чишћење, чишћење без губитка премаза, професионално чишћење графита, ЦВД СиЦ услуга чишћења, ВЕТЕК технички сервис
Пошаљи упит
Контакт информације
  • Адреса

    Вангда Роад, Зиианг Стреет, Вуии Цоунти, Јинхуа Цити, Зхејианг Провинце, Кина

  • Е-маил

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Користимо колачиће да бисмо вам понудили боље искуство прегледања, анализирали саобраћај на сајту и персонализовали садржај. Коришћењем овог сајта прихватате нашу употребу колачића.Политика приватности