Производи

Тантал-карбид премаз

ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.


Главни производи суВодећи прстен са премазом ТаЦ, ЦВД ТаЦ обложен прстен за вођење са три латице, Танталум Царбиде ТаЦ Цоатед Халфмоон, ЦВД ТаЦ премаз планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор, Прстен за премазивање од тантал карбида, Порозни графит обложен тантал карбидом, ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор, Прстен од танталовог карбида, ТаЦ премаз Ротациона плоча, ТаЦ обложена вафера, ТаЦ обложен дефлектор прстен, ЦВД ТаЦ Цоатинг Цоатинг Цовер, ТаЦ Цоатед Цхуцкитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.


ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:


Excellent properties of TaC coating graphite


Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.


Кључне карактеристике:

 ●Температурна стабилност

 ●Ултра висока чистоћа

 ●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си

 ●Отпорност на топлоту

 ●Јака адхезија на графит

 ●Конформна покривеност премаза

 Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)


Апликације:

 ●Носач вафла

 ● Индуктивни грејни пријемник

 ● Отпорни грејни елемент

 ●Сателитски диск

 ●Глава за туширање

 ●Водећи прстен

 ●ЛЕД Епи пријемник

 ●Млазница за убризгавање

 ●Прстен за маскирање

 ● Топлотни штит


Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметар ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина 14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност 0.3
Коефицијент топлотног ширења 6.3 10-6
Тврдоћа (ХК) 2000 ХК
Отпор 1×10-5Охм*цм
Термичка стабилност <2500℃
Промена величине графита -10~-20ум
Дебљина премаза ≥20ум типична вредност (35ум±10ум)


ТаЦ премаз ЕДКС подаци

EDX data of TaC coating


Подаци о кристалној структури превлаке ТаЦ:

Елемент Атомски проценат
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Просечно
Ц К 52.10 57.41 52.37 53.96
Тхе М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Танталум Царбиде цоветед цев за раст кристала

Танталум Царбиде цоветед цев за раст кристала

Танталум Царбиде Цлате цеви за раст кристала углавном се користи у процесу раста система СИЦ-а. Семицондуцтор Ветек је снабдевао цев пресвучену танталум карбидом за раст кристала дуги низ година и ради на пољу ТАЦ премаза дуги низ година. Наши производи имају високу чистоћу и отпорност на високу температуру. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини. Слободно нас питате.
ТАЦ прекривен прстен за реактор СИЦ Епитаксија

ТАЦ прекривен прстен за реактор СИЦ Епитаксија

Семицондуцтор Ветек је водећи произвођач и технолошки иноватор ТАЦ-а пресвучен прстена за реакторски реактор СИЦ-а у Кини, фокусирајући се на пружање решења високих перформанси за реакторе СИЦ епитаксијама. Имамо дугогодишње искуство у технологији ТАЦ премаза. ТАЦ пресвучен прстен има карактеристике високе чистоће, високе стабилности, одлична отпорност на корозију итд. И може пружити дугорочне стабилне перформансе у оштром радном окружењу епитаксијалних реактора. Радујемо се што ћемо успоставити дугорочно стратешко партнерство са вама.
Део полумесеца обложен тантал карбидом за ЛПЕ

Део полумесеца обложен тантал карбидом за ЛПЕ

ВеТек Семицондуцтор је водећи добављач полумесечног дела обложеног тантал карбидом за ЛПЕ у Кини, фокусирајући се на технологију ТаЦ премаза дуги низ година. Наш полумесечни део обложен тантал карбидом за ЛПЕ је дизајниран за процес епитаксије течне фазе и може да издржи високу температуру од преко 2000 степени Целзијуса. Са одличним перформансама материјала и процесним иновацијама, животни век наших производа је на водећем нивоу у индустрији. ВеТек Семицондуцтор се радује што ће бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ТАЦ прекривени водич

ТАЦ прекривени водич

ТАЦ премазан водич је направљен од висококвалитетног графита и тачки премаза. У припреми сичких кристала по ПВТ методи, ВИЕТЕК полуводички водич за пресвучен водич се углавном користи за вођење и управљање протоком ваздуха, оптимизира јединствени процес раста кристала и побољшати један принос кристала. Са одличном технологијом ТАЦ премаз, наши производи имају одличну високу температуру отпорност, отпорност на корозију и добра механичка својства.
Планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом

Планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављач планетарног ротационог диска обложеног тантал-карбидом у Кини, фокусирајући се на технологију премаза ТаЦ дуги низ година. Наши производи имају високу чистоћу и одличну отпорност на високе температуре, што је широко признато од стране произвођача полупроводника. ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатед Планетари Ротатион Диск је постао окосница индустрије епитаксије вафла. Радујемо се успостављању дугорочног партнерства са вама како бисмо заједнички промовисали технолошки напредак и оптимизацију производње.
ТАЦ прекривени носач графитног вафла

ТАЦ прекривени носач графитног вафла

ВеТек Семицондуцтор је пажљиво дизајнирао ТаЦ Цоатед Грапхите Вафер Царриер за купце. Састоји се од графита високе чистоће и ТаЦ премаза, који је погодан за разне епитаксијалне обраде вафла. Специјализовани смо за СиЦ и ТаЦ премазе дуги низ година. У поређењу са СиЦ премазом, наш носач графитних плочица обложен ТаЦ има већу температурну отпорност и отпорност на хабање. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Као професионалац Тантал-карбид премаз произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Тантал-карбид премаз направљене у Кини, можете нас оставити порука.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept