Производи
Подршка за графит ТАЦ премазана
  • Подршка за графит ТАЦ премазанаПодршка за графит ТАЦ премазана

Подршка за графит ТАЦ премазана

ВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатед Грапхите Сусцептор користи метод хемијског таложења паре (ЦВД) за припрему превлаке од тантал карбида на површини графитних делова. Овај процес је најзрелији и има најбоља својства премаза. ТаЦ обложени графитни сусцептор може продужити век трајања графитних компоненти, инхибирати миграцију нечистоћа графита и осигурати квалитет епитаксије. Радујемо се вашем упиту.

Дочекани сте да дођете у наш фабрички полуводичко-полуводич у фабрици да бисте купили најновију продаја, ниску цену и висококвалитетни ТАЦ пресвучени графички суцептор. Радујемо се сарадњи са вама.

Тачка топљења керамичког материјала од тантал карбида до 3880 ℃, је висока тачка топљења и добра хемијска стабилност једињења, његово окружење на високим температурама и даље може одржавати стабилне перформансе, поред тога, такође има отпорност на високу температуру, отпорност на хемијску корозију, добру хемикалију и механичка компатибилност са угљеничним материјалима и другим карактеристикама, што га чини идеалним заштитним материјалом за графитну подлогу. Превлака од тантал карбида може ефикасно заштитити графитне компоненте од утицаја врућег амонијака, водоника и силицијумске паре и растопљеног метала у тешким условима употребе, значајно продужити век трајања графитних компоненти и инхибирати миграцију нечистоћа у графит, обезбеђивање квалитета епитаксије и раста кристала. Углавном се користи у влажном керамичком процесу.

Хемијско таложење паре (ЦВД) је најзрелија и оптимална метода припреме за облагање тантал карбидом на површини графита.


Метода ЦВД ТаЦ премаза за ТаЦ обложен графитни сусцептор:

CVD TaC Coating Method for TaC Coated Graphite Susceptor

Процес премаза користи ТАЦЛ5 и пропилен као извор угљеника и извор танталума, а аргон као носач гаса да донесу пару танталум пентахлорида у реакциону комору након високе температуре. Под циљном температуром и притиском, пала прекурсорског материјала је адсорбована на површини графитног дела, а низ сложених хемијских реакција као што су распадање и комбинација извора угљеника и извора угљеника и извора танталума. У исто време, такође су укључени низ површинских реакција као што су дифузија прекурсора и десорпције нуспроизвода. Коначно, на површини графитног дела формира се густи заштитни слој, који штити графитни део од стабилности под екстремним условима заштите животне средине. Сценарији апликације графитног материјала се значајно проширују.


Параметар производа ТАЦ пресвлаченог графичког суцептора:

Физичка својства ТАЦ премаза
Густина 14.3 (Г / цм³)
Специфична емисивност 0.3
Коефицијент термичке експанзије 6.3к10-6/ К
Тврдоћа (ХК) 2000 ХК
Отпор 1 × 10-5Охм*цм
Термичка стабилност <2500℃
Промена величине графите -10~-20ум
Дебљина премаза ≥20ум типична вредност (35ум±10ум)


Производне продавнице:

VeTek Semiconductor Production Shop


Преглед ланца епитаксије Епитакти Цхип Епитактија:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Хот Тагс: Графитни пријемник са премазом ТаЦ
Пошаљи упит
Контакт информације
  • Адреса

    Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина

  • Е-маил

    anny@veteksemi.com

За упите о премазу од силицијум карбида, премазу од тантал карбида, специјалном графиту или ценовнику, оставите нам своју е-пошту и ми ћемо вас контактирати у року од 24 сата.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept